[发明专利]一种大负载晶圆针卡翻转调平机构

说明书

具体涉及一种大负载晶圆针卡翻转调平机构，涉及半导体检测领域，为了解决现有技术存在的问题，其包括左立板、右立板、四根气弹簧组件、右旋转支臂机构、左旋转支臂机构、拉线机构、两个调整机构、上盖板和针卡固定组件；右旋转支臂机构固定在右立板上，左旋转支臂机构用螺钉固定在左立板上；两根气弹簧组件上端与右旋转支臂机构连接，下端与右立板相连；另外两根气弹簧组件上端与左旋转支臂机构相连，下端与左立板相连；拉线机构固定在右立板上；两个调整机构分别固定在左立板和右立板上；上盖板固定在两个调整机构、右旋转支臂机构和左旋转支臂机构上；针卡固定组件固定在上盖板上。该机构能够可靠稳定得使上盖板翻转，实现针卡高精度定位。

技术领域

本发明涉及半导体检测领域，具体涉及一种大负载晶圆针卡翻转调平机构。

背景技术

翻转机构容易出现翻转后精度无法保证的情况，且在保证翻转后的精度会出现承载能力较差的问题。半导体检测要求精度高，精度要求在2-5μm，且针卡固定处其负载相对较大，载荷在100㎏以上，对固定针卡的翻转机构提出很高的要求。因此设计一种高精度大负载晶圆针卡翻转机构，用于晶圆检测设备十分必要。

发明内容

本发明为了解决现有技术存在的半导体检测要求精度高，精度要求在2-5μm，且针卡固定处其负载相对较大，载荷在100㎏以上，对固定针卡的翻转机构提出很高的要求的问题，提供一种大负载晶圆针卡翻转调平机构，该机构能够可靠稳定得使上盖板翻转，实现针卡高精度定位。

本发明解决技术问题的方案是：

高精度大负载晶圆针卡翻转调平机构，其特征是，其包括左立板、右立板、四根气弹簧组件、右旋转支臂机构、左旋转支臂机构、拉线机构、两个调平机构、上盖板和针卡固定组件；右旋转支臂机构固定在右立板上，左旋转支臂机构用螺钉固定在左立板上；两根气弹簧组件上端与右旋转支臂机构连接，下端与右立板相连；另外两根气弹簧组件上端与左旋转支臂机构相连，下端与左立板相连；拉线机构固定在右立板上；两个调平机构分别固定在左立板和右立板上；上盖板固定在两个调平机构、右旋转支臂机构和左旋转支臂机构上；针卡固定组件固定在上盖板上。

本发明的有益效果：该机构能够可靠稳定得使上盖板翻转，实现针卡高精度定位。

固定支臂可以通过螺钉旋动实现上盖板竖直位置调节。通过螺纹轴在固定座中上下运动调整上盖板，调整好上盖板，锁紧螺纹轴。从而实现上盖板四点调平。

锁卡支撑右旋转支臂，相当于二力杆，其承载能力与锁卡和右旋转支臂材料抗挤压能力相关。

针卡固定组件可适应不同规格型号的针卡。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细说明。

图1是本发明的高精度大负载晶圆针卡翻转调平机构示意图。

图2是本发明所述的气弹簧组件结构示意图。

图3是本发明所述的右旋转支臂机构的结构示意图。

图4是本发明所述的右旋转支臂机构的剖面示意图。

图5是本发明所述的左旋转支臂机构的结构示意图。

图6是本发明所述的左旋转支臂机构的剖面示意图

图7是本发明所述的拉线机构示意图。

图8是本发明所述的调平机构的示意图。

其中：1、左立板；2、右立板；3、气弹簧组件；4、右旋转支臂机构；5、左旋转支臂机构；6、拉线机构；7、调平机构；8、上盖板；9、针卡固定组件。

3-1、销轴一；3-2、气弹簧连接一；3-3、气弹簧；3-4气弹簧连接二；3-5、销轴二；3-6、气弹簧固定件。