[发明专利]一种压电晶片泵

权利要求书

1.一种压电晶片泵，由泵体、阀片及换能器构成，其特征在于：泵体上设有出入孔、至少两个由体腔构成的体腔组及与体腔组数量相等的储气室，入孔与各体腔组及出孔依次串联，从入孔到出孔的各体腔组所含体腔数量依次降低；各体腔组中靠近入孔一侧的体腔上设有进口腔、靠近出孔一侧的体腔上设有与储气室连通的出口腔，入孔与其相邻体腔组的进口腔连通，出孔与其相邻的体腔组的出口腔连通；同一体腔组内的各体腔经内通孔连通，两相邻体腔组的进出口腔经外通孔连通；进出口腔与其内所装阀片分别构成进出口阀；两个泵体经螺钉连接且其含体腔数量相同的体腔组相对安装，两个泵体经密封圈将换能器压接在其体腔内，换能器为单个压电振子或由两个压电振子及其中间压接的垫圈构成，压电振子由基板和压电片粘接而成，压电片表面电极包括驱动单元和传感单元，压电片上驱动单元和传感单元与基板构成的复合层分别为驱动器和传感器；换能器及密封圈与泵体构成泵腔，同一体腔组内的泵腔并联成泵腔组，一个泵体上的各泵腔组串联成一个泵单元，两个泵体上的泵单元经管路并联，不同体腔组中的换能器经不同的导线组与驱动电源相连，工作中同一泵单元内的同一体腔组中的换能器变形方向相同；根据所需供气压力确定泵腔组的数量，单个泵腔组的压力增幅为η_p为压力修正系数，β₀为气体体积模量，U₀为驱动电压，h_p压电片厚度，r为泵腔半径，H为泵腔高度。