[发明专利]弹性波装置

权利要求书

1.一种弹性波装置，具备：

支承基板；

压电膜，直接或间接地形成在所述支承基板上；

功能电极，直接或间接地形成在所述压电膜上；

布线电极，与所述功能电极电连接；

间隔层，直接或间接地形成在所述支承基板上，在从所述支承基板的厚度方向俯视的情况下，形成在所述压电膜的外侧；

覆盖层，形成在所述间隔层上；以及

贯通电极，贯通所述间隔层和所述覆盖层，并与所述布线电极电连接，

所述布线电极具有：

第一部分，在从所述厚度方向的俯视下与所述贯通电极重叠；

第二部分，在从所述厚度方向的俯视下与所述压电膜重叠；以及

台阶部，在所述第一部分与所述第二部分之间形成所述厚度方向上的台阶，

所述间隔层中的所述覆盖层侧的端部进入到所述覆盖层，

在从所述厚度方向的俯视下，所述间隔层覆盖所述台阶部的至少一部分，

所述布线电极包括：

第一台阶部，由所述台阶部构成；以及

第二台阶部，

所述第一台阶部在所述厚度方向上与所述支承基板的距离从所述第一部分侧朝向所述第二部分侧逐渐增加，

所述第二台阶部在所述厚度方向上与所述支承基板的距离从所述第一部分侧朝向所述第二部分侧逐渐减少，

在从所述厚度方向的俯视下，所述间隔层覆盖所述第一台阶部和所述第二台阶部的双方。

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

所述覆盖层包括：

第一层；以及

第二层，直接或间接地形成在所述第一层上，

所述第一层形成在比所述第二层靠所述支承基板侧，

所述第一层的杨氏模量大于所述第二层的杨氏模量。

3.根据权利要求2所述的弹性波装置，其中，

在所述间隔层中的所述覆盖层侧的端部中，进入到所述覆盖层的深度为所述第一层的厚度以下。

4.根据权利要求2或3所述的弹性波装置，其中，

所述第一层的材料为环氧类树脂，

所述第二层的材料为聚酰亚胺类树脂。

5.根据权利要求1～3中的任一项所述的弹性波装置，其中，

在所述间隔层中的所述覆盖层侧的端部中，进入到所述覆盖层的深度为2.0μm以上。

6.根据权利要求1～3中的任一项所述的弹性波装置，其中，

还具备：绝缘层，形成在所述支承基板上，

所述支承基板为硅基板，

所述布线电极的一部分形成在所述绝缘层上，

所述间隔层形成在所述布线电极上以及所述绝缘层上，

所述贯通电极形成在所述布线电极上。

7.根据权利要求6所述的弹性波装置，其中，

所述绝缘层的杨氏模量小于所述压电膜的杨氏模量。