[发明专利]形成氧化物的涂布液、制造氧化物膜的方法和制造场效应晶体管的方法

权利要求书

1.一种用于形成氧化物的涂布液，所述涂布液包含：

A元素，所述A元素是至少一种碱土金属；和

B元素，所述B元素是选自由镓(Ga)、钪(Sc)、镱(Y)和镧系元素所组成的组中的至少一种，

其中，当所述A元素的总浓度由C_A mg/L来表示并且所述B元素的总浓度由C_B mg/L来表示时，所述涂布液中的钠(Na)和钾(K)的总浓度为(C_A+C_B)/10³mg/L或更小并且所述涂布液中的铬(Cr)、锰(Mn)、铁(Fe)、钴(Co)、镍(Ni)和铜(Cu)的总浓度为(C_A+C_B)/10³mg/L或更小。

2.根据权利要求1所述的用于形成氧化物的涂布液，其中，当所述A元素的总浓度由C_Amg/L来表示并且所述B元素的总浓度由C_B mg/L来表示时，所述涂布液中的钠(Na)和钾(K)的总浓度为(C_A+C_B)/10⁶mg/L或更小并且所述涂布液中的铬(Cr)、锰(Mn)、铁(Fe)、钴(Co)、镍(Ni)和铜(Cu)的总浓度为(C_A+C_B)/10⁶mg/L或更小。

3.根据权利要求1或2所述的用于形成氧化物的涂布液，其中，所述涂布液还包含C元素，所述C元素是选自由Al、Ti、Zr、Hf、Nb和Ta所组成的组中的至少一种。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的用于形成氧化物的涂布液，其中，所述涂布液包含选自由所述A元素或所述B元素的无机盐、所述A元素或所述B元素的氧化物、所述A元素或所述B元素的氢氧化物、所述A元素或所述B元素的卤化物、所述A元素或所述B元素的金属络合物以及所述A元素或所述B元素的有机盐所组成的组中的至少一种。

5.一种用于形成氧化物的涂布液，所述涂布液包含：

金属源，所述金属源是选自由无机盐、氧化物、氢氧化物、卤化物、金属络合物和有机盐所组成的组中的至少一种；和

溶剂，

其中，使用所述涂布液形成的氧化物膜中的钠(Na)和钾(K)的总浓度为1,000mg/kg或更小，

其中，所述氧化物膜中的铬(Cr)、锰(Mn)、铁(Fe)、钴(Co)、镍(Ni)和铜(Cu)的总浓度为1,000mg/kg或更小。

6.根据权利要求5所述的用于形成氧化物的涂布液，其中，使用所述涂布液形成的氧化物膜中的钠(Na)和钾(K)的总浓度为1,000μg/kg或更小，并且

其中，所述氧化物膜中的铬(Cr)、锰(Mn)、铁(Fe)、钴(Co)、镍(Ni)和铜(Cu)的总浓度为1,000μg/kg或更小。

7.根据权利要求5或6所述的用于形成氧化物的涂布液，其中，所述无机盐包含选自由硝酸盐、硫酸盐、碳酸盐、乙酸盐和磷酸盐所组成的组中的至少一种。

8.根据权利要求5至7中任一项所述的用于形成氧化物的涂布液，其中，所述卤化物包含选自由氟化物、氯化物、溴化物和碘化物所组成的组中的至少一种。

9.根据权利要求5至8中任一项所述的用于形成氧化物的涂布液，其中，所述有机盐包含选自由羧酸盐、碳酸和它们的衍生物所组成的组中的至少一种。

10.根据权利要求5至9中任一项所述的用于形成氧化物的涂布液，其中，所述溶剂包含选自由有机酸、有机酸酯、芳香族化合物、二醇、二醇醚、极性非质子性溶剂、烷烃化合物、烯烃化合物、醚、醇和水所组成的组中的至少一种。