[发明专利]校正量取得装置及方法、进给机构控制装置及方法

权利要求书

1.一种校正量取得装置，其特征在于，具有：

振动取得部，取得使移动对象物沿着第1轴方向移动时的所述移动对象物的与所述第1轴方向正交的第2轴方向上的振动；

位置频率特性取得部，对在所述振动取得部取得的所述第2轴方向上的所述振动进行傅里叶转换而取得位置频率特性；

非位置依存频率存储部，将所述移动对象物的不依存于所述第1轴方向上的位置而产生的所述第2轴方向上的所述振动的位置频率存储为非位置依存频率；

位置依存振动取得部，取得从所述位置频率特性去除所述非位置依存频率的成分并进行逆傅里叶转换而恢复成所述移动对象物的所述第2轴方向上的所述振动的振动，并作为位置依存振动；以及

校正量取得部，取得消除所述位置依存振动的所述移动对象物的所述第2轴方向上的位置的校正量。

2.根据权利要求1所述的校正量取得装置，其特征在于，

所述位置依存振动取得部对从所述位置频率特性去除包含所述非位置依存频率的规定频率内的频带的成分而得的位置频率特性进行逆傅里叶转换。

3.根据权利要求1所述的校正量取得装置，其特征在于，

在2个所述非位置依存频率的差为规定频率以下时，所述位置依存振动取得部对从所述位置频率特性去除2个所述非位置依存频率之间的频带的成分而得的位置频率特性进行逆傅里叶转换。

4.一种进给机构控制装置，其特征在于，具有：

第1驱动部，使移动对象物沿第1轴方向移动；

第2驱动部，使所述移动对象物沿与所述第1轴方向正交的第2轴方向移动；以及

第2驱动控制部，在利用所述第1驱动部使所述移动对象物沿所述第1轴方向移动时，所述第2驱动控制部基于由权利要求1到3中任一项所述的校正量取得装置取得的所述校正量来驱动所述第2驱动部。

5.一种校正量取得方法，其特征在于，具有：

振动取得步骤，取得使移动对象物沿着第1轴方向移动时的所述移动对象物的与所述第1轴方向正交的第2轴方向上的振动；

位置频率特性取得步骤，对在所述振动取得步骤取得的所述第2轴方向上的所述振动进行傅里叶转换而取得位置频率特性；

非位置依存频率存储步骤，将所述移动对象物的不依存于所述第1轴方向上的位置而产生的所述第2轴方向上的所述振动的位置频率存储为非位置依存频率；

位置依存振动取得步骤，取得从所述位置频率特性去除所述非位置依存频率的成分并进行逆傅里叶转换而恢复成所述移动对象物的所述第2轴方向上的所述振动的振动，并作为位置依存振动；以及

校正量取得步骤，取得消除所述位置依存振动的所述移动对象物的所述第2轴方向上的位置的校正量。

6.根据权利要求5所述的校正量取得方法，其特征在于，

所述位置依存振动取得步骤中，对从所述位置频率特性去除包含所述非位置依存频率的规定频率内的频带的成分而得的位置频率特性进行逆傅里叶转换。

7.根据权利要求5所述的校正量取得方法，其特征在于，

所述位置依存振动取得步骤中，在2个所述非位置依存频率的差为规定频率以下时，对从所述位置频率特性去除2个所述非位置依存频率之间的频带的成分而得的位置频率特性进行逆傅里叶转换。

8.一种进给机构的控制方法，该进给机构具有：第1驱动部，使移动对象物沿第1轴方向移动；以及第2驱动部，使所述移动对象物沿与所述第1轴方向正交的第2轴方向移动，所述进给机构的控制方法的特征在于，具有：

第2驱动控制步骤，在利用所述第1驱动部使所述移动对象物沿所述第1轴方向移动时，基于由权利要求5到7中任一项所述的校正量取得方法取得的校正量，来驱动所述第2驱动部。