[发明专利]微型泵

权利要求书

1.一种微型泵，其特征在于，包括：

一进气板，具有至少一进气孔、至少一汇流排孔及一汇流腔室，其中至少一该进气孔供导入气体，至少一该进气孔对应至少一该汇流排孔，至少一该汇流排孔对应连通该汇流腔室，且引导进入至少一该进气孔的气体汇流至该汇流腔室内；

一共振片，贴合组接于该进气板，具有一中空孔、一可动部及一固定部，该中空孔位于该共振片中心处，并与该进气板的该汇流腔室相对应；

一压电致动器，透过一填充材组接结合于该共振片上，构成之间具有一腔室空间，该压电致动器包含有一悬浮板、一外框、至少一连接部、一压电元件及至少一间隙，至少一该连接部连接于该悬浮板及该外框之间提供弹性支撑，至少一该间隙设置于该悬浮板及该外框之间提供气体流通，而该压电元件贴合于该悬浮板的一表面；

一绝缘片，结合于该压电致动器的一侧；

一导电片，与该绝缘片相结合，具有多个接触导电端及多个透气开口，多个该接触导电端通过在该导电片上直接冲压成型，多个该接触导电端凸设于该导电片表面，并于该导电片组装在该压电致动器上与该压电元件表面构成紧密预力接触作为驱动电极之用；

其中，该压电致动器受驱动时，使该气体由该进气板的至少一该进气孔导入，经至少一该汇流排孔汇集至该汇流腔室，再流经该共振片的该中空孔导入该腔室空间内，再经该压电致动器共振作用传输气体，再由该间隙排出通过多个该透气开口排出于外，构成气体传输。

2.如权利要求1所述的微型泵，其特征在于，该压电致动器的该悬浮板的表面包括有一第一表面及一第二表面，该第二表面相对该第一表面，而该压电元件贴合于该悬浮板的该第二表面上，该压电致动器的该外框具有一组配表面及一下表面。

3.如权利要求2所述的微型泵，其特征在于，该悬浮板的该第一表面与该外框的该组配表面两者形成共平面。

4.如权利要求2所述的微型泵，其特征在于，至少一该连接部成形于该悬浮板与该外框之间，并使该悬浮板的该第一表面与该外框的该组配表面形成为非共平面，且使该悬浮板的该第一表面与该共振片的一间距得以利用至少一该连接部来调整。

5.如权利要求1所述的微型泵，其特征在于，该共振片的该可动部设置于该中空孔周围，且与该汇流腔室相对应的区域。

6.如权利要求1所述的微型泵，其特征在于，该共振片的该固定部设置于该共振片外周缘部分，而贴固于该进气板上。

7.如权利要求1所述的微型泵，其特征在于，该填充材为一导电胶。

8.如权利要求1所述的微型泵，其特征在于，该外框设有一第一导电接脚，而该导电片设有一第二导电接脚，供以连接进行电性导通之用。

9.如权利要求2所述的微型泵，其特征在于，该悬浮板的该第一表面上设有一凸部，对应到该共振片的该可动部。