[发明专利]一种织构化硬/软复合薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 201910198671.6 | 申请日： | 2019-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN109881149A | 公开（公告）日： | 2019-06-14 |
| 发明（设计）人： | 伏彦龙;王琴琴;姜栋;胡明;王德生;高晓明;杨军;孙嘉奕;翁立军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/58;C23C14/34;C23C14/32;C23C28/04 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 刘奇 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 复合薄膜 制备 织构化 磨屑颗粒 压强 防护技术领域 摩擦副表面 滑动过程 摩擦过程 摩擦磨损 摩擦系数 喷砂处理 射频溅射 使用寿命 试验条件 阳极氧化 运动部件 真空环境 纹理 对偶 法向 钢球 刮擦 织构 捕获 磨损 摩擦 损伤 | ||
1.一种织构化硬/软复合薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)在工件表面制备硬质涂层；
(2)对所述硬质涂层进行喷砂处理，得到喷砂硬质涂层；
(3)对所述硼喷砂硬质涂层进行阳极氧化处理，形成织构化硬质涂层；
(4)在所述织构化硬质涂层上射频溅射软质薄膜，得到所述织构化硬/软复合薄膜。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述硬质涂层的材质包括TiAlN或TiN；所述硬质涂层的厚度为0.4μm～6μm。
3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述喷砂处理使用的喷砂材料包括玻璃微球、无规则形状的钢砂、无规则形状的碳化硅和无规则形状的刚玉中的一种或几种；所述喷砂材料的粒径为100～400目。
4.根据权利要求1或3所述的制备方法，其特征在于，所述喷砂处理的压力为5～30psi。
5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述阳极氧化处理所用电解液的溶质包括硫酸及其盐、磷酸及其盐、草酸及其盐中的一种或几种。
6.根据权利要求1或5所述的制备方法，其特征在于，所述阳极氧化处理的电压为2～30V，电流密度为0.1～20A/dm2。
7.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述软质薄膜的材质包括WS2-MoS2、WS2或MoS2；所述软质薄膜的厚度为1～3μm。
8.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述射频溅射的功率为200～600W，负偏压为-30～-100V，时间为5～60min。
9.根据权利要求1或7或8所述的制备方法，其特征在于，射频溅射时，所述工件和靶之间的距离为20～50cm。
10.根据权利要求1或7或8所述的制备方法，其特征在于，所述射频溅射的工作气体包括氩气；所述氩气的压强为3～10Pa。
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