[发明专利]一种射频电源的检测方法

说明书

本发明公开了一种射频电源的检测方法，具体包括以下步骤：1）先将射频电源划分成供电模块、放大模块、控制模块、Sensor模块以及整机测试模块这五大模块；2）然后启动放大模块单独测试步骤，测试合格后，进入步骤3；否则，根据测试结果更换放大模块；并重新进入步骤2；3）然后启动控制模块的单独测试步骤；测试合格后，进入步骤4；否则，根据测试结果更换控制模块；并重新进入步骤3；4）然后启动Sensor模块的单独测试步骤；测试合格后，进入步骤5；否则，根据测试结果更换Sensor模块；并重新进入步骤4；5）然后启动整机测试模块单独测试步骤；测试合格后，进入步骤6；否则，根据测试结果进行调修；并重新进入步骤5；6）测试成功，进行包装。本发明提高工作效率。

技术领域

本发明涉及一种出厂检测方法的技术领域，尤其是一种射频电源的检测方法。

背景技术

射频电源是等离子体配套电源，它是由射频功率源，阻抗匹配器以及阻抗功率计组成，是八十年末期在我国新兴的高科技领域，应用于射频溅射，PECVD化学气相沉积，反应离子刻蚀等设备中。现代的射频电源有了长足发展，由八十年代的电子管电源一步步的发展成现在的晶体管射频电源，功率由瓦、百瓦、千瓦、到兆瓦，频率有2Mhz/13.56Mhz/27.12Mhz/40.68Mhz等，而应用也从以前的真空领域扩展到其他领域，半导体、美容等。随着射频电源的不断发展，射频电源的好坏直接影响了其他设备的供电性能，因此在射频电源出厂时需要对射频电源整体进行检测，但是目前的检测步骤复杂，且工作效率低下。

发明内容

本发明的目的是为了解决上述现有技术的不足而提供一种提高检测效率的射频电源的维修检测方法。

为了实现上述目的，本发明所设计的一种射频电源的检测方法，具体包括以下步骤：

1)先将射频电源划分成供电模块、放大模块、控制模块、Sensor模块以及整机测试模块这五大模块；

2)然后启动放大模块单独测试步骤，测试合格后，进入步骤3；否则，根据测试结果更换放大模块；并重新进入步骤2；

3)然后启动控制模块的单独测试步骤；测试合格后，进入步骤4；否则，根据测试结果更换控制模块；并重新进入步骤3；

4)然后启动Sensor模块的单独测试步骤；测试合格后，进入步骤5；否则，根据测试结果更换Sensor模块；并重新进入步骤4；

5)然后启动整机测试模块单独测试步骤；测试合格后，进入步骤6；否则，根据测试结果进行调修；并重新进入步骤5；

6)测试成功，进行包装。

进一步，在步骤2中所述的放大模块单独测试采用波形检测法或功率检测法，在步骤3中控制模块的单独测试采用供电检测法。

进一步，在步骤4中所述的Sensor模块单独测试采用S参数网络分析仪测试法。

进一步，在步骤5中所述的整机测试模块单独测试采用线性测试法或反射测试法或腔体测试法或频率测试法。

进一步，所述波形检测法的具体步骤是：对放大模块进行独立供电、供信号，使得放大模块在离线模式下能够进行功率输出，射频放大模块输出的是频率较高的波，通过示波器在输出点进行采样来获取图像化的展示高频波信号。

进一步，所述功率检测法的具体步骤是：对放大模块进行独立供电、供信号，使得放大模块在离线模式下能够进行功率输出，通过Sensor和Meter读取放大模块的输出功率，查看放大模块是否能够满功率输出。

进一步，所述供电检测法的具体步骤是：对控制板模块进行独立供电，通过查看供电电压及电流情况能够对控制模块进行直观的判断。

本发明得到的一种射频电源的检测方法，提高工序效率，且操作相对简单。

附图说明