[发明专利]一种金镍碳复合导电润滑涂层材料及其制备方法有效
| 申请号： | 201910207257.7 | 申请日： | 2019-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN109735820B | 公开（公告）日： | 2021-03-02 |
| 发明（设计）人： | 王鹏;乔丽;赵晓宇;张瀚文 | 申请（专利权）人： | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/16;C22C5/02;C23C14/02 |
| 代理公司： | 兰州智和专利代理事务所(普通合伙) 62201 | 代理人： | 张英荷 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 金镍碳 复合 导电 润滑 涂层 材料 及其 制备 方法 | ||
1.一种金镍碳复合导电润滑涂层材料的制备方法，通过物理气相沉积法，先采用镍靶在铜铬锆合金基材上沉积一层镍过渡层，再同时采用金靶、镍靶、碳靶，在镍过渡层上沉积一层金镍碳复合涂层，最终在铜铬锆基材上得到兼具高导电性能与润滑特性的复合层导电润滑涂层材料；金镍碳复合导电润滑涂层中，镍的质量百分数为2.15%~2.53%，碳的质量百分数为4.41%~5.51%，金的质量百分数为91.68%~93.22%；
所述镍过渡层的沉积中，镍靶施加320~370W直流电源溅射，氩气气体流量为19~21sccm，氩等离子体工作气压为6.5~8.5×10-1Pa，溅射温度为120~160℃，时间为55~65min，镍过渡层的厚度为0.9~1.2μm；
所述金镍碳复合涂层的沉积中，金靶施加120~150W的直流电源溅射，镍靶施加35~45W的直流电源溅射，碳靶施加100~400W的射频电源溅射；氩气气体流量为19~21sccm，氩等离子体工作气压为6.5~8.5×10-1Pa，溅射温度为120~160℃，时间为60~70min，金镍碳复合涂层的厚度为3.9~4.3μm。
2.如权利要求1所述一种金镍碳复合导电润滑涂层材料的制备方法，其特征在于：镍靶纯度为99.995%，金靶纯度为99.99%，碳靶纯度为99.999%，直径均为74.5~75.5mm。
3.如权利要求1所述一种金镍碳复合导电润滑涂层材料的制备方法，其特征在于：物理气相沉积涂层前，先用氩等离子体刻蚀铜铬锆合金基材5~15分钟，使用偏压-500 ~ -600V去除基底表面自然氧化层。
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