[发明专利]一种自带膜系切换功能的基板装载板及其镀膜方法在审
申请号: | 201910208593.3 | 申请日: | 2019-03-19 |
公开(公告)号: | CN109763096A | 公开(公告)日: | 2019-05-17 |
发明(设计)人: | 马淑莹;戴秀海;范滨 | 申请(专利权)人: | 光驰科技(上海)有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/50 |
代理公司: | 上海申蒙商标专利代理有限公司 31214 | 代理人: | 周宇凡 |
地址: | 200444 上海市宝*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 底板 镀膜区域 治具板 膜系 镀膜基板 基板装载 镀膜 膜区域 掩膜 自带 薄膜制备技术 对正 错位 贯通 保证 表现 | ||
本发明涉及薄膜制备技术领域,尤其涉及一种自带膜系切换功能的基板装载板及其镀膜方法,其特征在于:所述基板装载板包括底板及治具板,所述治具板安装在所述底板上且可在所述底板上产生使两者相对位置发生变化的位移;所述底板上开设有漏膜区域,所述治具板上开设有与各所述镀膜区域相对应的掩膜孔,通过所述治具板在所述底板上的位移使所述掩膜孔与所述漏膜区域之间构成对正贯通或错位阻断以对所述镀膜基板的同一侧表现的不同镀膜区域进行逐一镀膜。本发明的优点是:能对同一镀膜基板的不同镀膜区域镀不同膜系,且保证镀膜基板的不同镀膜区域之间不会产生不良影响,不同膜系之间不会产生不良影响。
技术领域
本发明涉及薄膜制备技术领域,尤其涉及一种自带膜系切换功能的基板装载板及其镀膜方法。
背景技术
提高镀膜效率和镀膜质量、扩大镀膜适用范围是真空镀膜技术领域追求的目标。近年来,智能手机、平板电脑等电子产品市场蓬勃发展,相应地,这些智能终端的品质提升也对此类产品所需触摸屏的镀膜技术提出了更高要求。
常见的镀膜技术需通过不停的更换治具实现在同一镀膜基板的不同位置处形成膜系,该种技术手段不仅提高设计成本,增加劳动力还降低了镀膜效率。
发明内容
本发明的目的是根据上述现有技术的不足,提供了一种自带膜系切换功能的基板装载板及其镀膜方法,通过漏膜区域及掩膜孔的相互移动式配合,使得同一种膜系所对应的漏膜区域及掩膜孔相贯通时,其余的漏膜区域及掩膜孔均被遮盖,实现对同一镀膜基板的不同位置镀不同颜色的膜系。
本发明目的实现由以下技术方案完成:
一种自带膜系切换功能的基板装载板,用于对同一镀膜基板的同一侧表面的不同镀膜区域镀不同膜系,其特征在于:所述基板装载板包括底板及治具板,所述治具板安装在所述底板上且可在所述底板上产生使两者相对位置发生变化的位移;所述底板上开设有漏膜区域,所述治具板上开设有与各所述镀膜区域相对应的掩膜孔,通过所述治具板在所述底板上的位移使所述掩膜孔与所述漏膜区域之间构成对正贯通或错位阻断以对所述镀膜基板的同一侧表现的不同镀膜区域进行逐一镀膜。
所述对所述镀膜基板的同一侧表现的不同镀膜区域进行逐一镀膜指的是,当所述漏膜区域和与一镀膜区域相对应的一所述掩膜孔构成相对正贯通时,其余镀膜区域所对应的所述掩膜孔均与所述漏膜区域构成错位阻断。
所述掩膜孔的数量也与所述镀膜区域的数量、位置、大小、形状相吻合适配,所述漏膜区域的数量、大小及形状与所述掩膜孔相吻合适配。
所述底板上间隔设有若干个定位孔,所述治具板上设有定位机构,所述治具板与所述底板之间通过所述定位机构与所述定位孔之间的配合构成限位。
在所述治具板的另一侧还设置有背板,所述镀膜基板承载在所述治具板与所述背板之间。
一种涉及上述的自带膜系切换功能的基板装载板的镀膜方法,其特征在于:所述镀膜方法包括以下步骤:
将镀膜基板装载在治具板的上,调整所述治具板与底板之间的相对位置,使所述底板上的漏膜区域与所述治具板上的第一掩膜孔相对应构成对正贯通,所述第一掩膜孔与所述镀膜基板上的第一镀膜区域相对应,且所述镀膜基板上的其余镀膜区域所对应的掩膜孔均被遮挡;
透过所述漏膜区域和所述第一掩膜孔对所述镀膜基板上的第一镀膜区域进行镀膜;
调整所述治具板与所述底板之间的相对位置,使所述底板上的漏膜区域与所述治具板上的第二掩膜孔相对应构成对正贯通,所述第二掩膜孔与所述镀膜基板上的第二镀膜区域相对应,且所述镀膜基板上的其余镀膜区域所对应的掩膜孔均被遮挡;
透过所述漏膜区域和所述第二掩膜孔对所述镀膜基板上的第二镀膜区域进行镀膜;
以此往复,完成所述镀膜基板的同一侧表现的不同镀膜区域进行逐一镀膜。
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