[发明专利]一种基于激光烧蚀平面叉指电极气体传感器的制备方法

权利要求书

1.一种基于激光烧蚀平面叉指电极气体传感器的制备方法，其特征在于，按以下步骤实现：

(1)根据激光烧蚀叉指电极传感器的设计要求，切割、清洗叉指电极基片，利用磁控溅射技术沉积金薄膜电极，用激光切割机将金属薄膜电极烧蚀分割为两部分，形成平面叉指电极；

(2)所述的叉指电极基片，是指下述任意一种材料的叉指电极基片：石英玻璃；氧化铝；氮化铝；

(3)根据检测气体的种类要求，在平面叉指电极的上表面，利用化学法、电化学法或气相沉积法直接生长各种气敏薄膜，或采用丝网印刷法、浸渍法、提拉法和刀片法制备气敏薄膜；

(4)根据气体传感器的设计要求，切割、清洗加热装置基片，通过磁控溅射技术和剥离工艺，在加热装置基片的表面形成加热电极；或直接外置加热电极；

(5)在加热装置基片的上表面四周，注射低熔点玻璃粉，在190-210℃范围内烧结10-15min，并进行修整，防止高温烧结过程中封装截面的不均匀性；

(6)采用高温烧结工艺，把通过(1)-(3)步骤形成的制备气敏薄膜的叉指电极和(4)-(5)步骤形成的加热装置进行叠放，夹持叉指电极基片和加热装置基片，在高温炉温度范围为465-485℃条件下，气体保护恒温烧结10-15min。

2.根据权利要求1所述的基于激光烧蚀平面叉指电极气体传感器的制备方法，其特征在于，激光烧蚀平面叉指电极直接用激光光束将金属薄膜电极烧蚀分割为叉指电极，通过载物台X轴、Y轴扫描空程和激光光斑大小，控制平面叉指电极的电极宽度、电极长度和电极间距。

3.根据权利要求1所述的基于激光烧蚀平面叉指电极气体传感器的制备方法，其特征在于，叉指电极为金电极、银电极或铂电极；加热电极为铂电极、铬电极或氧化钌电极；保护气体为氮气或惰性气体氩气；气敏薄膜为碳纳米管、纳米氧化锌和纳米氧化钨。