[发明专利]溅射机环件孔位检测工具及方法

说明书

本发明提供了一种溅射机环件孔位检测工具及方法，涉及溅射机环件检测技术领域，本发明提供的溅射机环件孔位检测工具包括检具以及多个销子，检具具有一用于与待测环件内表面贴合的外圆周面，检具上还具有多个插装孔，每一个插装孔用于插装一个销子，任意相邻两个插装孔的轴线之间的夹角角度为标准夹角角度，插装孔的孔径等于标准环件安装孔的孔径。本发明提供的溅射机环件孔位检测工具根据销子是否能够通过安装孔插入插装孔中，便可以检测出任意相邻两个安装孔轴线之间夹角角度是否标准，检测过程简单，不会对环件造成额外的破坏，检测效率较高。

技术领域

本发明涉及溅射机环件检测技术领域，尤其是涉及一种溅射机环件孔位检测工具及方法。

背景技术

在半导体芯片的生产过程中会在溅射靶材与单晶硅载体之间设置环件，环件安装在溅射机台上，通过电流通电作用，使周围产生磁场，溅射靶材上面的原子通过磁场能够均匀的附着在单晶硅载体上。

而为了方便环件的安装，环件上具有多个安装孔，任意相邻两个安装孔轴线之间夹角角度的正确与否关系到环件的安装问题，如果把夹角角度不正确的环件安装在溅射机台上，会使得环件形成一个不规则的圆形结构，使得原子偏离正确的溅射方向，甚至会使得环件无法安装到机台上。由于环件上具有一个缺口，且环件具有一定的弹性，这就对检测过程造成了极大的困难。

因此，如何提供一种有效的对外界环境起到保护作用的耦合线圈保护结构及无线充电器是本领域技术人员需解决的技术问题之一。

发明内容

本发明的目的在于提供一种溅射机环件孔位检测工具及方法，能够快速的检测出任意相邻两个安装孔轴线之间夹角角度是否标准，检测过程简单，不会对环件造成额外的破坏。

为实现上述目的，本发明提供以下技术方案：

第一方面，本发明提供一种溅射机环件孔位检测工具，包括检具以及多个销子，所述检具具有一用于与待测环件内表面贴合的外圆周面，所述检具上还具有多个插装孔，每一个所述插装孔用于插装一个所述销子，任意相邻两个所述插装孔的轴线之间的夹角角度为标准夹角角度，所述插装孔的孔径等于标准环件安装孔的孔径。

进一步地，所述检具为圆柱形结构。

进一步地，所述检具为圆环形结构。

进一步地，所述销子包括插装柱以及与所述插装柱连接的连接帽，其中：

所述插装柱呈圆柱状，用于插装至所述插装孔中；

所述连接帽用于检测者手持。

进一步地，所述检具具有至少一个定位槽，所述定位槽用于与外界物体卡接，以限定所述检具相对于外界物体的位置。

第二方面，本发明还提供一种溅射机环件孔位检测方法，采用了第一方面中任一种所述的溅射机环件孔位检测工具，包括：

对接步骤：将环件套设于所述检具的外部，并将所述环件上的各个安装孔与所述检具上的各个插装孔一一对应；

检测步骤：将各个所述销子逐一穿过各个所述安装孔并插入各个所述安装孔所对应的各个所述插装孔。

进一步地，所述对接步骤之前，还包括：

定位步骤：将检具与外界物体卡接，以限定所述检具相对于外界物体的位置。

进一步地，所述检测步骤中：

当环件安装孔的个数为奇数时，首先将一个销子穿过位于中间位置的安装孔并插入该安装孔所对应的插装孔中，随后通过剩余销子对中间位置安装孔两侧的剩余安装孔进行检测；