[发明专利]椭圆振动压电驱动器及其驱动方法在审
申请号: | 201910210607.5 | 申请日: | 2019-03-20 |
公开(公告)号: | CN109713936A | 公开(公告)日: | 2019-05-03 |
发明(设计)人: | 杨晓峰;郭文鑫;李涛;刘佳慧;范昊寅;唐金岩;黄虎 | 申请(专利权)人: | 杨晓峰 |
主分类号: | H02N2/02 | 分类号: | H02N2/02;H02N2/06 |
代理公司: | 吉林长春新纪元专利代理有限责任公司 22100 | 代理人: | 王怡敏 |
地址: | 130000 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压电驱动器 间隙调节单元 驱动单元 柔顺机构 椭圆振动 压电叠堆 驱动 动子 两组 微观力学性能测试 柔性铰链结构 压电精密驱动 沉头螺钉 对称结构 合成输出 基座连接 精密光学 输出性能 显微操作 垂直的 回退 楔块 应用 | ||
1.一种椭圆振动压电驱动器,其特征在于:包括基座(2)、驱动单元、动子(1)、间隙调节单元(4),所述驱动单元通过螺钉与间隙调节单元(4)连接,间隙调节单元(4)通过沉头螺钉与基座(2)连接,所述动子(1)位于驱动单元的前端,通过沉头螺钉与基座(2)连接。
2.根据权利要求1所述的椭圆振动压电驱动器,其特征在于:所述的驱动单元包括压电叠堆(3)、柔顺机构(5)、楔块(6),所述压电叠堆(3)通过楔块(6)预紧安装在柔顺机构(5)凹槽内;所述柔顺机构(5)具有对称结构,左右各分布有呈相互垂直的两组柔性铰链结构,并交叉于正前端,实现对左右两组压电叠堆(3)产生的运动的合成输出。
3.一种椭圆振动压电驱动器的驱动方法,其特征在于:包括以下步骤:
a)调整间隙调节单元(4)的旋钮,实现柔顺机构(5)的正前端与动子(1)之间间隙的调节;
b)同时给驱动单元中两个正交的压电叠堆(3)施加具有45°相位差的两个连续简谐波,所述两个简谐波具有等频率的特性,并经电压平移变换处理,使其电压值始终为非负状态;两路正交的压电叠堆(3)在逆压电效应的作用下,分别完成各自的伸长与回复,在此过程中,柔顺机构(5)实现对两路正交运动的合成,并于其正前端输出椭圆运动;在周期椭圆运动的作用下,柔顺机构(5)的正前端与动子(1)侧壁周期性地接触与脱离,进而实现动子(1)沿x轴方向的步进运动;在上述过程中,控制参与驱动的椭圆轨迹长度小于等于椭圆轨迹全长的一半,即从原理上抑制回退运动的产生,从而,在椭圆振动的一个周期内,使动子(1)仅有单向运动;同理,控制两个输入简谐波相位差的正负实现反向驱动;
c)调节压电叠堆(3)输入简谐波的电压幅值和频率,实现对动子(1)速度的调控;
d)通过调节间隙调节单元(4),改变参与驱动的椭圆振动轨迹长度,实现每步位移的调节,亦可实现对动子(1)速度的微调。
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