[发明专利]一种等溶性电离子发生器

说明书

本发明提供了一种等溶性电离子发生器，涉及等离子发生器领域，其包括放电电路、真空装置和气源装置，放电电路包括多电极、接地极和恒定输出的电源；所述恒定输出的电源包括高压包和自反馈稳压电路；所述高压包与所述自反馈稳压电路连接；所述自反馈稳压电路用于采集所述高压包的输出电压信息，并根据所述输出电压信息调整所述高压包的输出电压；本发明的离子发生器的电源通过自反馈稳压电路可以实时控制功率输出部分的工作状态，从而调整电源的输出电压，使得输出的直流电压值恒定，确保输出电压的稳定而不产生电势差，稳定提供电源，利于等离子体轰击，提高清洁效果。

技术领域

本发明涉及等离子发生器领域，尤其是一种等溶性电离子发生器。

背景技术

等离子体是物质的一种存在状态，也称第四种状态(通常物质以固态、液态、气态三种状态存在)，等离子体状态中存在处于高速运动状态的电子、处于激活状态的中性原子、分子等物质，其保持电中性状态；在真空腔体里，通过射频电源在一定的压力情况下发出辉光，产生高能量的无序等离子体，通过等离子体轰击待清洗对象表面，达到清洗的目的；利用等离子体中大量的离子、激发态分子。自由基等活性粒子作物理撞击，把材料表面的原子打掉，清除表面原有的污染物和杂质；离子在较低压力下平均自由基较轻长，得到能量的累积，在物理撞击时，离子的能量越高，越多的能量撞击，清洁效果越加。

等离子体可以通过多种方式来产生，产生方式包括热电离法、射线辐照法、光电离法、激波等离子法和气体放电法，气体放电法指气体在电场作用下被击穿引起的导电现象，气体放电法包括辉光放电、电晕放电和介质阻挡放电，其中辉光放电能产生大体积强激发的等离子体，但要求维持低气压，电晕放电在正常气压下产生等离子体，但密度低；介质阻挡放电实现正常气压下产生高密度的等离子体，因此被广泛应用，比如基于等离子体的清洁机等。但是，目前等离子发生器工作时的放电电压的电压值的大小不恒定，产生的电离子有限，清洁效果不佳。因此，需要一种等溶性电离子发生器可以克服现有等离子发生器的放电电压不稳定的问题。

发明内容

本发明的目的在于：本发明提供了一种等溶性电离子发生器，解决现有等离子发生器的放电电压不稳定的问题。

本发明采用的技术方案如下：

一种等溶性电离子发生器，包括放电电路、真空装置和气源装置，所述放电电路包括多电极、接地极和恒定输出的电源；所述恒定输出的电源包括高压包和自反馈稳压电路；

所述高压包与所述自反馈稳压电路连接；

所述自反馈稳压电路用于采集所述高压包的输出电压信息，并根据所述输出电压信息调整所述高压包的输出电压。

优选地，所述自反馈稳压电路包括：

取样电路、基准电压源、比较放大电路和电压调整管；

所述取样电路包括取样电阻，所述取样电阻与负载并联；所述取样电路用于采集所述输出电压信息得到反馈电压；

所述比较放大电路用于比较所述反馈电压与所述基准电压源的基准电压并产生误差电压，根据放大的所述误差电压控制所述电压调整管的基级电流；

当所述基级电流变化时，所述电压调整管的管压降随之变化以保持所述电源的输出电压稳定。

优选地，所述自反馈稳压电路包括：

取样电路和LNK芯片；

所述取样电路包括取样绕组，所述取样绕组与所述高压包的主绕组耦合；所述取样电路用于采集所述主绕组的输出电压信息得到反馈电压；

所述LNK芯片用于根据所述反馈电压调整所述输出电压。