[发明专利]环路热管及其制造方法

权利要求书

1.一种环路热管，具有：使工作流体汽化的蒸发器；使所述工作流体液化的冷凝器；将所述蒸发器与所述冷凝器连接的液管；以及将所述蒸发器与所述冷凝器连接，并且与所述液管共同形成环路的蒸汽管，

其中，所述液管具有作为最外层的两个金属层、以及在所述最外层之间层叠两个以上金属层而形成的内层，

当层叠了第一金属层和第二金属层这两个内层时，

在所述内层中设有使所述工作流体流过的一个以上的流路、以及与所述流路连通的多孔体，

在构成所述内层的第一金属层中，形成有构成所述流路的第一有底槽、以及构成所述多孔体的第一有底孔和第二有底孔，所述第一有底槽向与所述第一金属层相邻的第二金属层侧开口，所述第一有底孔从所述第二金属层侧凹入，所述第二有底孔从与所述第二金属层相反的一侧凹入，所述第一有底孔与所述第二有底孔部分地重叠且连通，

在构成所述内层的所述第二金属层中，形成有构成所述流路的第二有底槽、以及构成所述多孔体的第三有底孔和第四有底孔，所述第二有底槽向所述第一金属层侧开口，所述第三有底孔从所述第一金属层侧凹入，所述第四有底孔从与所述第一金属层相反的一侧凹入，所述第三有底孔与所述第四有底孔部分地重叠且连通，

通过将所述第一有底槽与所述第二有底槽以使其在厚度方向上连通的方式相对地设置而形成所述流路。

2.根据权利要求1所述的环路热管，其中，

所述第一有底槽包括在所述第一金属层内排列、并且向所述第二金属层侧开口并在平面方向上连通的多个有底槽，

所述第二有底槽包括在所述第二金属层内排列、并且向所述第一金属层侧开口并在平面方向上连通的多个有底槽，

所述流路包括将在所述第一金属层内排列的多个有底槽与在所述第二金属层内排列的多个有底槽以使其在厚度方向上连通的方式相对地设置而形成的流路。

3.根据权利要求1或2所述的环路热管，其中，

所述流路包括在所述第一金属层及所述第二金属层内设置在所述多孔体两侧的两个流路。

4.根据权利要求1或2所述的环路热管，其中，

所述内层包括与所述第二金属层相邻的第三金属层，

在所述第二金属层中，形成有向所述第三金属层侧开口的第三有底槽，

在所述第三金属层中，形成有向所述第二金属层侧开口的第四有底槽，

所述流路包括将所述第三有底槽与所述第四有底槽以使其在厚度方向上连通的方式相对地设置而形成的流路。

5.根据权利要求4所述的环路热管，其中，

所述多孔体设在所述第一金属层、所述第二金属层、以及所述第三金属层中。

6.根据权利要求4所述的环路热管，其中，

所述内层包括与所述第三金属层相邻的第四金属层，

在所述第三金属层中，形成有向所述第四金属层侧开口的第五有底槽，

在所述第四金属层中，形成有向所述第三金属层侧开口的第六有底槽，

所述流路包括将所述第五有底槽与所述第六有底槽以使其在厚度方向上连通的方式相对地设置而形成的流路。

7.根据权利要求6所述的环路热管，其中，

所述多孔体设在所述第一金属层、所述第二金属层、所述第三金属层、以及所述第四金属层中。

8.根据权利要求1或2所述的环路热管，其中，

构成所述流路的有底槽为内壁面由弯曲面形成的凹形。

9.根据权利要求1或2所述的环路热管，其中，

所述第一金属层具有将所述第一有底孔与所述第二有底孔部分地连通而形成的第一细孔，

所述第二金属层具有将所述第三有底孔与所述第四有底孔部分地连通而形成的第二细孔。

10.根据权利要求1或2所述的环路热管，其中，

所述最外层的金属层为实心状。

11.一种环路热管的制造方法，所述环路热管具有使工作流体汽化的蒸发器、使所述工作流体液化的冷凝器、以及将所述蒸发器与所述冷凝器连接的液管，所述液管具有作为最外层的两个金属层、以及在所述最外层之间层叠两个以上金属层而形成的内层，在所述内层中设有使所述工作流体流过的一个以上的流路、以及与所述流路连通的多孔体，

其中，所述环路热管的制造方法具有在所述内层中形成所述流路的步骤，

形成所述流路的步骤包括：

对将成为所述内层的一个金属片从一侧进行半蚀刻以形成第一有底槽和第一有底孔，并且从另一侧进行半蚀刻以形成第二有底孔的步骤；

对将成为所述内层的另一个金属片从所述另一侧进行半蚀刻以形成第二有底槽和第三有底孔，并且从所述一侧进行半蚀刻以形成第四有底孔的步骤；以及

以使所述第一有底槽的开口侧与所述第二有底槽的开口侧相对的方式对所述一个金属片和所述另一个金属片进行层叠，并且形成使所述第一有底槽与所述第二有底槽在厚度方向上连通的流路的步骤，

所述第一有底孔与所述第二有底孔构成所述多孔体，并且部分地重叠且连通，

所述第三有底孔与所述第四有底孔构成所述多孔体，并且部分地重叠且连通。