[发明专利]一种柔性基材及其制作方法

权利要求书

1.一种柔性基材的制作方法，其特征在于，所述制作方法包括：

在支撑物上涂布聚酰胺酸溶液，并采用第一烘烤工艺烘烤所述聚酰胺酸溶液以形成聚酰胺酸薄膜；其中，所述第一烘烤工艺包括：在200℃以下的氮气或惰性气体环境中挥发所述聚酰胺酸溶液中50%以上的溶剂；

在所述聚酰胺酸薄膜上涂布氧化物溶胶，并采用第二烘烤工艺烘烤所述氧化物溶胶以形成氧化物凝胶薄膜；其中，所述第二烘烤工艺包括：在200℃以下的氮气或惰性气体环境中 以 1℃/min~5℃/min的升温速率分阶段升温来挥发所述氧化物溶胶中的溶剂；

采用第三烘烤工艺烘烤所述聚酰胺酸薄膜和所述氧化物凝胶薄膜，以形成聚酰亚胺/氧化物膜层，并将一组或叠层设置的多组所述聚酰亚胺/氧化物膜层作为所述柔性基材；其中，所述第三烘烤工艺包括：在氮气或惰性气体环境中以3℃/min~10℃/min的升温速率分阶段升温至预设温度，并在所述预设温度上持续预设时长；其中，所述预设温度大于或等于300℃。

2.根据权利要求1所述的柔性基材的制作方法，其特征在于，在所述采用第二烘烤工艺烘烤所述氧化物溶胶以形成氧化物凝胶薄膜之后，所述制作方法还包括：

在所述氧化物凝胶薄膜上涂布聚酰胺酸溶液，并采用所述第一烘烤工艺烘烤所述聚酰胺酸溶液以形成聚酰胺酸薄膜；

采用第三烘烤工艺烘烤所述聚酰胺酸薄膜和所述氧化物凝胶薄膜，以形成聚酰亚胺/氧化物/聚酰亚胺膜层，并将一组或叠层设置的多组所述聚酰亚胺/氧化物/聚酰亚胺膜层作为所述柔性基材。

3.根据权利要求1所述的柔性基材的制作方法，其特征在于，所述采用第三烘烤工艺烘烤所述聚酰胺酸薄膜和所述氧化物凝胶薄膜，以形成聚酰亚胺/氧化物膜层之后，所述制作方法还包括：

在所述聚酰亚胺/氧化物膜层上涂布聚酰胺酸溶液，并采用所述第一烘烤工艺烘烤所述聚酰胺酸溶液以形成聚酰胺酸薄膜；

采用第三烘烤工艺烘烤所述聚酰胺酸薄膜，以形成聚酰亚胺/氧化物/聚酰亚胺膜层，并将一组或叠层设置的多组所述聚酰亚胺/氧化物/聚酰亚胺膜层作为所述柔性基材。

4.根据权利要求1所述的柔性基材的制作方法，其特征在于，所述氧化物为SiO₂、Al₂O₃、MgO、ZnO、ZrO₂中的任意一种或任意几种的混合物。

5.根据权利要求1所述的柔性基材的制作方法，其特征在于，所述支撑物为玻璃基板或柔性不锈钢卷材。

6.一种柔性基材，其特征在于，所述柔性基材由权利要求1至5中任意一项所述的柔性基材的制作方法制作而成。