[发明专利]感放射线性组合物和1;2-萘醌-2-二叠氮磺酸衍生物

说明书

本发明提供一种感放射线性组合物，其具有优异的辐照灵敏度和分辨率，能够发挥高的电压保持特性。一种感放射线性组合物，含有：碱溶性聚合物(A)、以及具有选自由式(b1)表示的结构和由式(b2)表示的结构中的至少1种结构(bb)的化合物(B)。[式(b1)和(b2)中，X为吸电子基团或卤素原子，在X为多个时可以分别相同或不同，n1为0～3的整数，n2为0～2的整数，其中，n1+n2为1以上，n3为0～4的整数，n4为0～1的整数，其中，n3+n4为1以上，*为结合位点。]

技术领域

本发明涉及感放射线性组合物和1,2-萘醌-2-二叠氮磺酸衍生物。

背景技术

以往，1,2-萘醌-2-二叠氮磺酸衍生物作为感放射线性组合物中的感放射线性化合物使用(例如，参照专利文献1～3)。然而，公知的1,2-萘醌-2-二叠氮磺酸衍生物中，存在辐照灵敏度不充分等问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2002-088052号公报

专利文献2：日本特开2007-156243号公报

专利文献3：日本特开2006-209113号公报

发明内容

本发明的课题在于提供一种具有优异的辐照灵敏度和分辨率且能够发挥优异的电压保持特性的感放射线性组合物、以及1,2-萘醌-2-二叠氮磺酸衍生物。

本发明的发明人等为了解决上述课题进行了研究，其结果发现，通过对1,2-萘醌-2-二叠氮基导入吸电子基团或卤素原子，可以解决上述课题，从而完成了本发明。即，本发明涉及以下的[1]～[9]。

[1]一种感放射线性组合物，含有：碱溶性聚合物(A)、以及具有选自由式(b1)表示的结构和由式(b2)表示的结构中的至少1种结构(bb)的化合物(B)。

[式(b1)和(b2)中，X为吸电子基团或卤素原子，在X为多个时可以分别相同或不同，n1为0～3的整数，n2为0～2的整数，其中，n1+n2为1以上，n3为0～4的整数，n4为0～1的整数，其中，n3+n4为1以上，*为结合位点。]

[2]根据上述[1]所述的感放射线性组合物，其中，上述式(b1)和(b2)中的X为吸电子基团。

[3]根据上述[1]所述的感放射线性组合物，其中，上述式(b1)和(b2)中的上述吸电子基团是选自硝基、氰基、磺基、羧基、甲苯磺酰基、甲磺酰基、苯基、三氟甲基磺酰基和碳原子数1～12的卤代烷基中的至少1种，上述卤素原子是选自氟原子、氯原子、溴原子和碘原子中的至少1种。

[4]根据上述[1]～[3]中任一项所述的感放射线性组合物，其中，上述化合物(B)是选自由式(B1-3-1)表示的化合物和由式(B1-4-1)表示的化合物中的至少1种。

[式(B1-3-1)中的Q各自独立地为上述结构(bb)或氢原子，m1～m3为0～5的整数，其中，m1、m2和m3中的至少1个是1以上的整数，且并非所有的Q都是氢原子。式(B1-4-1)中的Q各自独立地为上述结构(bb)或氢原子，m4～m6为0～5的整数，其中，m4、m5和m6中的至少1个为1以上的整数，且并非所有的Q都是氢原子。]

[5]根据上述[1]～[4]中任一项所述的感放射线性组合物，其中，相对于上述聚合物(A)100质量份含有5～100质量份的上述化合物(B)。