[发明专利]一种发光光斑均匀的VCSEL激光器在审
| 申请号： | 201910212597.9 | 申请日： | 2019-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN109728503A | 公开（公告）日： | 2019-05-07 |
| 发明（设计）人： | 罗玉辉;程元红 | 申请（专利权）人： | 深圳新亮智能技术有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183;H01S5/187 |
| 代理公司： | 广州市越秀区海心联合专利代理事务所(普通合伙) 44295 | 代理人： | 王洪娟;冼俊鹏 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 环状金属电极 布拉格反射镜 透明导电膜 发光光斑 电性连接 多个方面 光斑均匀 依次层叠 过渡层 氧化层 出射 基底 源层 覆盖 拓展 应用 | ||
【权利要求书】：
1.一种发光光斑均匀的VCSEL激光器，包括由下而上依次层叠的N型金属电极层(101)、基底(102)、N型布拉格反射镜(103)、有源层(104)、过渡层(105)、氧化层(106)、P型布拉格反射镜(107)和环状金属电极层(108)；其特征在于，在所述的环状金属电极层(108)远离P型布拉格反射镜(107)的一面设有透明导电膜(109)；所述的透明导电膜(109)覆盖环状金属电极层(108)及位于环状金属电极层(108)中部露出的P型布拉格反射镜(107)；所述的透明导电膜(109)与环状金属电极层(108)电性连接。
2.根据权利要求1所述发光光斑均匀的VCSEL激光器，其特征在于，所述的P型布拉格反射镜(107)在环状金属电极层(108)中部露出的部分与透明导电膜(109)欧姆接触。
3.根据权利要求1所述发光光斑均匀的VCSEL激光器，其特征在于，所述的透明导电膜(109)的厚度为
4.根据权利要求3所述发光光斑均匀的VCSEL激光器，其特征在于，所述的透明导电膜(109)为ITO透明导电膜或AZO透明导电膜或金属膜。
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