[发明专利]研磨用组合物和其制造方法以及磁研磨方法

权利要求书

1.一种研磨用组合物，其含有：饱和磁化强度为20emu/g以上且150emu/g以下的磁性颗粒和水，还含有研磨颗粒，所述研磨用组合物的pH为6.0以上且低于14，所述磁性颗粒的表面不实施表面处理，所述磁性颗粒的含量为20质量％以上，所述研磨颗粒的含量为1质量％以上。

2.根据权利要求1所述的研磨用组合物，其中，所述磁性颗粒含有铁合金和铁氧化物中的至少一者。

3.根据权利要求1或权利要求2所述的研磨用组合物，其中，所述磁性颗粒的平均一次粒径为10μm以下。

4.根据权利要求1或权利要求2所述的研磨用组合物，其中，所述磁性颗粒的平均一次粒径为0.10μm以上。

5.根据权利要求1或权利要求2所述的研磨用组合物，其pH为10.5以下。

6.根据权利要求1或权利要求2所述的研磨用组合物，其中，所述磁性颗粒的形状为球状或多面体状。

7.一种磁研磨方法，其为使用权利要求1～6中任一项所述的研磨用组合物对研磨对象物进行研磨的磁研磨方法，所述方法包括如下工序：对所述研磨用组合物施加磁场，形成含有所述磁性颗粒的磁簇，使所述磁簇与所述研磨对象物接触，对所述研磨对象物进行研磨。

8.根据权利要求7所述的磁研磨方法，其中，所述研磨对象物含有软质金属材料。

9.根据权利要求7所述的磁研磨方法，其中，所述研磨对象物含有铝、铝合金、镁、镁合金、铜和铜合金中的至少1种。

10.根据权利要求7所述的磁研磨方法，其中，所述研磨对象物含有氧化铝、氧化锆、氧化硅、铁合金、钛合金和树脂中的至少1种。

11.根据权利要求7所述的磁研磨方法，其中，所述研磨对象物的包含其表面的一部分由金属氧化物形成，其他部分由合金形成。

12.根据权利要求7～11中任一项所述的磁研磨方法，其中，在所述研磨对象物的研磨以前，将含有所述磁性颗粒的第1成分、与含有所述水的第2成分进行混合，从而制造所述研磨用组合物，使用制造好的所述研磨用组合物，对所述研磨对象物进行研磨。

13.一种研磨用组合物的制造方法，其为制造权利要求1～6中任一项所述的研磨用组合物的方法，所述制造方法包括如下工序：将含有所述磁性颗粒的第1成分、与含有所述水的第2成分进行混合。