[发明专利]一种共用驱动轴的多级真空泵

说明书

本发明公开了一种共用驱动轴的多级真空泵，包括多个真空驱动腔串联或并联连接形成多级真空驱动腔，每个独立的真空驱动腔内设置至少一转子，第一级真空驱动腔的入口直通大气，其中至少有两个真空驱动腔以一共用驱动轴驱动，其中该共用驱动轴包括至少两个分离驱动轴。所述多个真空驱动腔组成的真空泵可以是采用共轴的多级泵，例如多级罗茨泵，采用单一电机驱动，也可以是至少一个非共轴真空驱动腔均采用独立或共享的驱动电机驱动。由于采用分段式驱动轴，每个真空腔内的一对叶轮及轴的热胀冷缩不会被传递到轴向相邻的另外的真空腔室，也不会受到轴向相邻腔室热胀冷缩的影响。

技术领域

本发明涉及真空泵领域，尤其涉及一种包括至少一共用驱动轴的多级真空泵。

背景技术

在真空技术领域中，可以直接排大气且形成真空的设备主要有液环泵，直排大气气冷罗茨真空泵、喷射泵（含蒸汽喷射泵，水喷泵）、滑阀泵、往复泵、旋片式真空泵（分为油式旋片真空泵和无油干式旋片真空泵）、螺杆式真空泵、爪式真空泵、多级罗茨真空泵、涡旋式真空泵等。而普通罗茨真空泵能够形成较高真空，但排气压力不能够达到直排大气的压力，必须配备上述的真空泵作为前级泵才能够正常安全的运行。还有罗茨式气冷泵虽然可以直排大气,但由于必须引回已排出气体冷却后再回到泵腔里, 导致效率降低、功耗和噪音很大，最高工作真空度只有约2万帕。

从节能减排、环境保护角度说，干式泵是未来发展的大趋势。但是干式真空泵虽然不会产生大量的废水，废油，对于环境的影响比非干式真空泵来说要小的多，但现市场上的各种类型的干式真空泵存在着很多先天性的不足之处，制约着其更广泛的使用。为了解决现有技术上有关真空泵的问题，发明人提出一种多驱动腔非共轴真空泵，包括多个独立的真空驱动腔，所述多个真空驱动腔串联连接形成多级真空驱动腔，每个独立的真空驱动腔内设置一对独立的转子，其特征在于所述多个真空驱动腔的气量主流方向与转子驱动轴形成垂直或30~90度大夹角，第一级真空驱动腔的入口直通大气，所述多个真空驱动腔全部或部分不共轴, 所有不共轴的真空腔均采用独立的驱动电机驱动，所述多个真空驱动腔从上至下依次叠放成串联连接的多级真空驱动腔，下一级真空驱动腔的吸入口与上一级真空驱动腔的排气口连接，每级真空驱动腔的吸入口均位于上方，排气口均位于下方，真空驱动腔的两侧分别设有冷却水腔，每一个真空驱动腔的下方还设置一个夹套水层。

但是上述现有技术中的真空泵虽然可以解决环境保护上的一些问题，但是当多级真空驱动腔使用共用驱动轴时，由于共用驱动轴的冷缩热胀导致每个真空腔内的叶轮/轴都会因为相邻真空腔热胀冷缩造成叶轮及轴的膨胀或缩短的问题。

因此本发明的发明人为了改进上述问题，提出本发明以使得多级真空泵的共用驱动轴可以传动扭力，而且可以消除热胀冷缩导致的此一真空驱动腔的驱动轴对于另一相连接的真空驱动腔的驱动轴的轴向影响。

发明内容

本发明的目的在于提供一种包括至少一共用驱动轴的多级真空泵，该多级真空泵是一款能够承受一定粉尘、一定腐蚀、便于维护、抽气量大的干式真空泵。

根据本方案的优选实施例，所述多个真空驱动腔从上至下依次叠放成串联连接的多级真空驱动腔，下一级真空驱动腔的吸入口与上一级真空驱动腔的排气口连接，每级真空驱动腔的吸入口均位于上方，排气口均位于下方，或侧面，每一个真空驱动腔都采用独立的电机驱动。

为了实现上述目的，本发明提出一种包括至少一共用驱动轴的多级真空泵，包括多个独立的真空驱动腔，所述多个真空驱动腔串联或并联连接形成多级真空驱动腔，每个独立的真空驱动腔内设置至少一转子，第一级真空驱动腔的入口直通大气或前级装置；其中至少有两个真空驱动腔以一共用驱动轴驱动，其中该共用驱动轴包括至少两个分离驱动轴。