[发明专利]一种双面对准的视觉系统及对准方法有效

专利信息
申请号: 201910213737.4 申请日: 2019-03-20
公开(公告)号: CN109950191B 公开(公告)日: 2021-04-30
发明(设计)人: 程海林 申请(专利权)人: 纳研科技(上海)有限公司
主分类号: H01L21/68 分类号: H01L21/68;G03F9/00
代理公司: 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 代理人: 陶金龙;尹一凡
地址: 201318 上*** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 双面 对准 视觉 系统 方法
【权利要求书】:

1.一种双面对准的视觉系统,用于实现空间上相对的两个被测物的对准功能,其特征在于,包括:

相对的两个调整台,所述调整台相对的两个面上放置被测物A和被测物B;其中,所述被测物A和被测物B相对的表面上具有可用于视觉成像的图形,所述调整台调整位于所述被测物A和被测物B的X轴、Y轴和Z轴上位置以及竖直方向上的倾斜角度;

对准测量单元,包括反射组件、转像组件、分光组件、成像前组、分束组件、成像后组、照明组件和光电转换组件;其中,所述反射组件位于所述被测物A和被测物B之间,所述分光组件位于所述反射组件的一侧,所述转像组件位于所述反射组件和分光组件之间,且位于其中一个被测物的光路上,所述成像前组位于

所述分光组件的另一侧,所述成像前组远离分光组件的一侧依次为分束组件、成像后组和光电转换组件;所述成像前组、分束组件、成像后组和光电转换组件作为主成像光路,用于对分光组件汇集的两个光路同时进行成像;所述反射组件、转像组件和分光组件,用于将被测物A和被测物B的光路汇集到分光组件中形成转折测量光路;所述照明组件发射的入射光依次经过所述分束组件和成像前组进入所述分光组件中被分为两个方向上的入射光,两个方向上的入射光分别经过反射组件到达被测物A和被测物B;从而使得被测物A和被测物B上的图形分别经过反射组件、分光组件、成像前组、分束组件和成像后组成像于所述光电转换组件上,并重叠显示在显示单元上,其中一个被测物上的图形经过所述反射组件和转像组件后被翻转180度,从而使得被测物A和被测物B中的两个成镜像关系的图形在显示单元上重合;

其中,所述转像组件为具有一个直角的五角棱镜,所述直角五角棱镜的一个直角边水平配置于所述分光组件的上方,所述五角棱镜的另一直角边靠近所述反射组件的一侧;

辅助对位单元,所述辅助对位单元位于所述分光组件的上方或下方,所述辅助对位单元发射的激光依次经过所述分光组件、直角五角棱镜和反射组件,在被测物A和被测物B的中心形成对位光斑;

显示单元,用于在对准测量单元工作时将被测物A和被测物B对准之后的图形显示出来,所述调整台用于调整所述被测物A和被测物B对准之后的图形的重合度,以及在辅助对位单元工作时,根据被测物A和被测物B的中心形成对位光斑,调整所述被测物A和被测物B的位置。

2.根据权利要求1所述的一种双面对准的视觉系统,其特征在于,所述照明组件包括转折组件和照明后组,所述照明后组、转折组件,同时和主成像光路共用成像前组,使得照明后组发射的入射光依次经过转折组件和分束组件和成像前组,再进入分光组件中。

3.根据权利要求1所述的一种双面对准的视觉系统,其特征在于,所述辅助对位单元包括激光光源和转折棱镜,激光光源发射的激光经过转折棱镜进入分光组件、直角五角棱镜和反射组件中,激光光源发射的激光借用成像光路的分束组件进入成像系统,最后在被测物A和被测物B上形成光束直径较小的对位光斑,引导被测物上的图形进入显示单元中。

4.根据权利要求1所述的一种双面对准的视觉系统,其特征在于,所述反射组件为直角棱镜,且所述直角棱镜的直角正对所述分光组件,使得所述被测物A和被测物B上的光线经过所述直角棱镜沿相同方向进入所述分光组件中。

5.根据权利要求1所述的一种双面对准的视觉系统,其特征在于,所述反射组件包括两个反射镜或者直角棱镜,且所述被测物A和被测物B上的光线经过各自对应的直角棱镜或反射镜沿相同方向进入所述分光组件中。

6.根据权利要求1所述的一种双面对准的视觉系统,其特征在于,所述分光组件上设置分束膜,用于将入射光拆分为两路。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于纳研科技(上海)有限公司,未经纳研科技(上海)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910213737.4/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top