[发明专利]基于全压电陶瓷驱动的线性驱动装置

权利要求书

1.一种基于全压电陶瓷驱动的线性驱动装置，所述基于全压电陶瓷驱动的线性驱动装置包括基座(1)、二级桥式放大器(2)、光栅位移传感器(5)、导向支撑架(6)和四个柔性导向器(3)，其特征在于：所述基于全压电陶瓷驱动的线性驱动装置还包括微动压电陶瓷(4)，二级桥式放大器包括第一级放大器(2-1)、第二级放大器(2-2)、宏动压电陶瓷(2-3)和两个链接块(2-4)，第一级放大器(2-1)和第二级放大器(2-2)均为四边形框体结构，第一级放大器(2-1)竖直设置，宏动压电陶瓷(2-3)竖直设置在第一级放大器(2-1)内，第一级放大器(2-1)的上下端为第一级放大器位移输入端，第一级放大器(2-1)的两侧中部为第一级放大器位移输出端，第二级放大器(2-2)的两端为第二级放大器位移输入端，第二级放大器(2-2)的两侧中部为第二级放大器位移输出端，第一级放大器(2-1)的两侧中部对称设置有两个链接块(2-4)，第二级放大器(2-2)水平穿装在第一级放大器(2-1)的中部并通过两个链接块(2-4)与第一级放大器(2-1)固接，二级桥式放大器侧壁固装在基座(1)上，每个柔性导向器(3)通过一根横梁固装在基座(1)上，每个链接块(2-4)的上方和下方均设置有一个柔性导向器(3)，柔性导向器(3)的固定端与横梁固装为一体，四个柔性导向器(3)两两相对且平行设置，导向支撑架(6)上设有四个悬臂(6-2)，导向支撑架(6)的每个悬臂(6-2)与对应的一个柔性导向器(3)的输出端固定连接，第二级放大器(2-2)的前侧中部与导向支撑架(6)之间设置有微动压电陶瓷(4)，光栅位移传感器(5)设置在基座(1)的上部。

2.根据权利要求1所述的基于全压电陶瓷驱动的线性驱动装置，其特征在于：第一级放大器(2-1)和第二级放大器(2-2)均为矩形结构桥式放大器。

3.根据权利要求1或2所述的基于全压电陶瓷驱动的线性驱动装置，其特征在于：二级桥式放大器的输出位移的分辨率小于微动压电陶瓷(4)的行程。

4.根据权利要求3所述的基于全压电陶瓷驱动的线性驱动装置，其特征在于：柔性导向器(3)是由多层四边形结构连接而成的弹性簧片结构。

5.根据权利要求4所述的基于全压电陶瓷驱动的线性驱动装置，其特征在于：柔性导向器(3)一端的两侧为柔性导向器(3)的固定端，柔性导向器(3)一端的中部为柔性导向器(3)的输出端。

6.根据权利要求1、2、4或5所述的基于全压电陶瓷驱动的线性驱动装置，其特征在于：光栅位移传感器(5)安装在位于左上方的柔性导向器(3)的输出端上。

7.根据权利要求6所述的基于全压电陶瓷驱动的线性驱动装置，其特征在于：导向支撑架(6)包括支撑架主体(6-1)和四个悬臂(6-2)，支撑架主体(6-1)呈工字型，支撑架主体(6-1)的每个工字型横梁两端上圆弧过渡连接有两个悬臂(6-2)。