[发明专利]用于操作用于测量所测量气体中的气体组分浓度的光学测量系统的方法有效
申请号: | 201910216270.9 | 申请日: | 2019-03-21 |
公开(公告)号: | CN110296957B | 公开(公告)日: | 2022-04-29 |
发明(设计)人: | A.维特曼;S.施莱辛格;T.普拉茨 | 申请(专利权)人: | 阿克塞特里斯股份公司 |
主分类号: | G01N21/39 | 分类号: | G01N21/39 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 刘书航;闫小龙 |
地址: | 瑞士凯*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 操作 测量 气体 中的 组分 浓度 光学 系统 方法 | ||
1.一种用于操作用于基于波长调制光谱来测量所测量气体(2)中的气体组分浓度的光学测量系统(1)的方法,所述光学测量系统(1)包括:波长可调谐温度稳定的激光光源(3),其在工作点(12)处使激光光源(3)的激光的中心基本波长λ0经由气体组分的有关吸收线而周期性地变化,并且在同一时间利用调制设备(4)以频率(f)和一定的幅度来调制中心基本波长λ0;光检测器(5),其在激光已经通过所测量气体(2)之后检测激光的强度;以及评价设备(6),其包括用于由光检测器(5)以频率(f)和/或其谐波中的一个生成的测量信号的相位灵敏解调的部件(6a),激光光源(3)是利用基本电流IDC和调制电流IAC以电流调制的方式工作的并且发射具有波长调制幅度ΔλAC的波长λ0的激光束(7),并且以可变地设定电流调制幅度ΔIAC的方式来将激光的波长调制幅度ΔλAC保持恒定,其特征在于,在工作点(12)处测量激光光源(3)处的电压,并且基于此来将在激光光源(3)的内部电阻器RI(3b)处的调制功率ΔPAC保持恒定。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,将在激光光源的校准期间设定的电流调制幅度ΔIAC_Calib考虑在内,适配电流调制幅度ΔIAC,以使得将经调制的功率调制幅度ΔPAC保持恒定。
3.根据权利要求1或者权利要求2所述的方法,其特征在于,通过适配电流调制幅度ΔIAC来确定在激光光源(3)的内部电阻器RI(3b)处的电压改变ΔURi以便稳定波长调制幅度ΔλAC。
4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,电流调制幅度ΔIAC的适配基于UL_Calib和UL_Act的商。
5.根据前述权利要求1-2中的任何一个所述的方法,其特征在于,在光学测量系统(1)的校准期间,激光光源(3)的被调制的功率ΔPAC、调制电流IAC的幅度ΔIAC以及跨内部电阻器RI(3b)的电压下降UI或调制电流IAC的幅度ΔIAC、内部电阻RI和基本电流IDC是在工作点(12)处确认的并且被存储。
6.根据前述权利要求1-2中的任何一个所述的方法,其特征在于,根据激光光源(3)的其中跨激光光源(3)的电压下降UL被记录为基本电流IDC的函数的电压/电流特性曲线来确定激光光源(3)的内部电阻RI(3b)。
7.根据前述权利要求1-2中的任何一个所述的方法,其特征在于,使用包括锁相技术的评价设备(6)。
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