[发明专利]工件推压机构、张网机和蒸镀系统

权利要求书

1.一种工件推压机构，其特征在于，其特征在于，包括水平向驱动单元和夹持单元，所述水平向驱动单元包括电机、水平运动组件、缓冲弹簧，所述夹持单元包括支撑座和夹持器；所述电机的驱动轴连接于所述水平运动组件，以使得所述水平运动组件在水平面上移动；所述缓冲弹簧设置在所述水平运动组件和所述支撑座之间，用于将所述水平向驱动单元的运动传递到所述夹持单元上，使得所述水平运动组件水平运动时带动所述支撑座水平运动，以使得所述夹持单元整体上进行水平移动，且所述水平运动组件在整个水平运动过程中的水平位移大于所述夹持单元的水平位移；所述夹持器设置在所述支撑座上，并在所述支撑座的带动下向着靠近一工件的方向水平运动时能推压所述工件，以夹持所述工件。

2.如权利要求1所述的工件推压机构，其特征在于，所述水平向驱动单元还包括水平导向部件，所述水平运动组件包括第一水平移动部件以及第一水平运动端子；所述第一水平移动部件设置在所述水平导向部件上并能在所述水平导向部件的导向下进行水平移动；所述第一水平运动端子固定设置在所述第一水平移动部件上，且所述第一水平运动端子连接所述电机的驱动轴以及所述缓冲弹簧。

3.如权利要求2所述的工件推压机构，其特征在于，所述水平向驱动单元还包括第二水平移动部件和第二水平运动端子；所述第二水平移动部件设置在所述第一水平移动部件背向所述电机的一侧的所述水平导向部件上并能在所述水平导向部件的导向下进行水平移动，或者，所述第二水平移动部件可滑动地设置在所述第一水平移动部件面向所述电机的一侧的所述水平导向部件上并能在所述水平导向部件的导向下进行水平移动；所述支撑座固定设置在所述第二水平运动端子上。

4.如权利要求1所述的工件推压机构，其特征在于，所述工件推压机构还包括垂向驱动单元，所述垂向驱动单元包括垂直导向部件、垂向移动部件、垂向运动端子以及垂向弹力复位部件；所述垂直导向部件固定设置在所述支撑座上；所述垂向移动部件设置在所述垂直导向部件上并在所述垂直导向部件的导向作用下垂直上下运动；所述垂向运动端子分别固定连接所述垂向移动部件和所述夹持器；所述垂向弹力复位部件固定设置在所述垂向运动端子的上端和/或下端，用于在所述夹持器与所述工件分开时，能所述使所述夹持器的高度复位。

5.如权利要求4所述的工件推压机构，其特征在于，所述垂直导向部件包括垂向导轨，所述垂向移动部件包括滑块或滚轮，所述垂向弹力复位部件包括复位弹簧。

6.如权利要求5所述的工件推压机构，其特征在于，所述夹持器包括滚轮和限位件；所述滚轮固定在所述垂向运动端子上；所述限位件一端固定连接所述支撑座，另一端设置在所述垂向运动端子上方，用于在所述垂向运动端子停止垂直运动时固定所述滚轮的高度。

7.如权利要求1-6中任一项所述的工件推压机构，其特征在于，所述工件推压机构还包括测量单元，所述测量单元包括力传感器，所述力传感器设置在所述缓冲弹簧和所述支撑座之间。

8.如权利要求7所述的工件推压机构，其特征在于，所述工件推压机构还包括连接杆和压紧螺母，所述缓冲弹簧套设在所述压紧螺母上，所述压紧螺母连接于所述连接杆，所述连接杆连接于所述力传感器，所述力传感器连接于所述支撑座。

9.如权利要求7所述的工件推压机构，其特征在于，所述测量单元还包括光栅尺传感器，所述光栅尺传感器包括光栅主尺及读数头，所述光栅主尺设置在所述水平运动组件或夹持单元上，所述读数头相对所述电机固定不动。

10.如权利要求1-6及8-9中任一项所述的工件推压机构，其特征在于，所述工件推压机构还包括基体，所述电机和所述水平导向部件均固定在所述基体上。

11.如权利要求1-6及8-9中任一项所述的工件推压机构，其特征在于，所述工件为掩膜框架。