[发明专利]一种活动密封装置有效
申请号: | 201910218689.8 | 申请日: | 2019-03-21 |
公开(公告)号: | CN110067493B | 公开(公告)日: | 2020-10-09 |
发明(设计)人: | 齐威;孟璐璐;李璟;齐月静;宗明成;王宇;杨光华;陈进新;苏佳妮;张清洋;卢增雄 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
主分类号: | E06B7/18 | 分类号: | E06B7/18;E06B7/28 |
代理公司: | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人: | 房德权 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 活动 密封 装置 | ||
1.一种活动密封装置,应用于具有密封要求和活动开口的系统,其特征在于,所述装置包括:
活动门,所述活动门设置在所述系统的腔体外侧,对所述腔体进行密封;
十字转盘,所述十字转盘设置在所述活动门的中心位置,与所述活动门可转动连接;
拉杆机构,所述拉杆机构的一端分别经过所述活动门的四个顶角处与所述腔体连接,另一端与所述十字转盘连接,所述拉杆机构包括:四个拉杆,所述四个拉杆分别设置在所述活动门的四个顶角处,且所述拉杆的一端与所述十字转盘连接;四个直角压块,所述四个直角压块分别设置在所述活动门的四个顶角外侧,与所述四个拉杆对应连接,通过转动所述十字转盘,拉动拉杆带动所述直角压块对所述活动门进行压紧,所述直角压块包括:直角固定架,所述直角固定架设置在所述活动门顶角外侧;连接杆,所述连接杆的一端与所述直角固定架外侧连接;活动板,所述活动板的一端具有一通孔,所述连接杆的另一端穿过所述通孔与所述活动板连接,且所述活动板的另一端具有一凹槽,通过所述凹槽与所述拉杆连接;其中,拉杆带动所述活动板在所述连接杆上移动,驱动所述直角固定架压紧所述活动门的顶角;
压紧机构,所述压紧机构设置在所述活动门内侧,位于所述活动门四周边缘处,对所述腔体进行压紧密封。
2.如权利要求1所述的装置,其特征在于,所述活动门包括:
定位台阶,所述定位台阶位于所述活动门外侧中心位置,对所述十字转盘进行定位;
螺柱,所述螺柱设置在所述定位台阶上,通过所述螺柱将所述十字转盘与所述活动门进行连接。
3.如权利要求1所述装置,其特征在于,所述活动门还包括:
密封条,所述密封条设置在所述活动门内侧四周边缘处,且所述密封条的形状与所述活动门外围轮廓相匹配。
4.如权利要求1所述的装置,其特征在于,所述十字转盘包括:
圆弧槽,所述圆弧槽设置在所述十字转盘与所述拉杆机构的连接处,当转动所述十字转盘时,所述拉杆机构能够在所述圆弧槽中进行伸缩运动。
5.如权利要求4所述的装置,其特征在于,所述圆弧槽的数量与所述拉杆机构的数量相同。
6.如权利要求1所述的装置,其特征在于,所述直角压块还包括:
第一弹簧,所述第一弹簧套设在所述连接杆上,位于所述直角固定架和所述活动板之间。
7.如权利要求1所述的装置,其特征在于,所述压紧机构包括:
压条,所述压条分别设置在所述活动门边框外围,且所述压条之间相互交错连接;
导向柱,所述导向柱的一端与所述压条侧面连接,另一端朝向远离所述活动门方向,嵌入所述腔体对应的导向孔内。
8.如权利要求7所述装置,其特征在于,所述导向柱还包括:
第二弹簧,所述第二弹簧套设在所述导向柱上,控制所述压条通过弹力向远离活动门的方向弹起。
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