[发明专利]平坦度检测方法、平坦度检测装置及存储介质

权利要求书

1.一种平坦度检测方法，其是根据由拍摄装置对元件进行拍摄所得到的拍摄数据来检测上述元件的平坦度，包括：

基准点信息取得步骤，取得与上述元件的多个基准点相关的位置信息及高度信息；

虚拟平面生成步骤，根据从多个上述基准点中选择的至少三个选择点的上述位置信息及上述高度信息来生成虚拟平面；

虚拟平面判定步骤，根据以上述选择点除外的上述基准点的上述虚拟平面为基准的上述高度信息来判定该虚拟平面是有效平面还是无效平面；以及

平坦度检测步骤，以上述有效平面为基准来检测上述元件的平坦度，

在上述平坦度检测步骤中，在上述虚拟平面判定步骤中多个虚拟平面被判定为上述有效平面的情况下，检测以多个上述有效平面中的各个有效平面为基准的上述平坦度，将多个上述平坦度中的最不利的上述平坦度作为上述元件的上述平坦度。

2.根据权利要求1所述的平坦度检测方法，其中，

上述拍摄数据是从上述元件的上方对上述元件进行拍摄所得到的数据，

上述虚拟平面生成步骤包括在生成上述虚拟平面之前预先进行的预处理步骤，

在上述预处理步骤中，根据由上述位置信息所规定的规定点与上述元件的俯视时设计上的中心点即设计点之间的距离，来决定是否在上述虚拟平面生成步骤中生成上述虚拟平面。

3.根据权利要求1或2所述的平坦度检测方法，其中，

在上述虚拟平面判定步骤中，以一个上述虚拟平面为基准来取得多个上述基准点的高度信息，在多个上述高度信息中存在表示上述基准点处于比上述虚拟平面远离上述元件的位置的信息的情况下，将该虚拟平面判定为无效平面，并将未被判定为上述无效平面的上述虚拟平面的至少一部分判定为上述有效平面。

4.根据权利要求3所述的平坦度检测方法，其中，

在上述虚拟平面判定步骤中，将通过上述基准点信息取得步骤取得的上述高度信息转换为从上述虚拟平面到上述基准点的高度。

5.根据权利要求1或2所述的平坦度检测方法，其中，

上述元件是具有多个端子的电子元件，在上述基准点信息取得步骤中，以上述电子元件的一个上述端子上的多个点为上述基准点来取得上述位置信息及上述高度信息，

上述平坦度检测方法还包括端子倾斜度检测步骤，将所取得的上述多个点的上述高度信息转换为以上述有效平面为基准的上述端子的端子高度信息，并根据该端子高度信息来检测上述端子相对于上述有效平面的倾斜度。

6.一种平坦度检测装置，其是根据由拍摄装置对元件进行拍摄所得到的拍摄数据来检测上述元件的平坦度，包括：

基准点信息取得部，取得与上述元件的多个基准点相关的位置信息及高度信息；

虚拟平面生成部，根据从多个上述基准点中选择的至少三个选择点的上述位置信息及上述高度信息来生成虚拟平面；

虚拟平面判定部，根据以上述选择点除外的上述基准点的上述虚拟平面为基准的上述高度信息来判定该虚拟平面是有效平面还是无效平面；以及

平坦度检测部，以上述有效平面为基准来检测上述元件的平坦度，

在上述平坦度检测部中，在上述虚拟平面判定部中多个虚拟平面被判定为上述有效平面的情况下，检测以多个上述有效平面中的各个有效平面为基准的上述平坦度，将多个上述平坦度中的最不利的上述平坦度作为上述元件的上述平坦度。

7.一种存储有平坦度检测程序的非临时性计算机可读存储介质，该平坦度检测程序用于根据由拍摄装置对元件进行拍摄所得到的拍摄数据来检测上述元件的平坦度，能够使计算机实现如下功能：

基准点信息取得功能，取得与上述元件的多个基准点相关的位置信息及高度信息；

虚拟平面生成功能，根据从多个上述基准点中选择的至少三个选择点的上述位置信息及上述高度信息来生成虚拟平面；

虚拟平面判定功能，根据以上述选择点除外的上述基准点的上述虚拟平面为基准的上述高度信息来判定该虚拟平面是有效平面还是无效平面；以及

平坦度检测功能，以上述有效平面为基准来检测上述元件的平坦度，

在上述平坦度检测功能中，在上述虚拟平面判定功能中多个虚拟平面被判定为上述有效平面的情况下，检测以多个上述有效平面中的各个有效平面为基准的上述平坦度，将多个上述平坦度中的最不利的上述平坦度作为上述元件的上述平坦度。