[发明专利]一种表面等离子体滤波器

权利要求书

1.一种表面等离子体滤波器，为金属-绝缘体-金属结构，其特征在于，所述表面等离子体滤波器的金属异质波导为随机结构；所述表面等离子体滤波器为金属-绝缘体-金属结构，且为上下对称结构；所述金属异质波导的周期p＝L₁+L₂，通过改变L₁和L₂的宽度从而在金属异质波导中引入无序；

用ψ表示无序度，ψ＝Δx/p，其中，Δx表示L₁和L₂分别减少和增加的随机长度，每个周期中L₁和L₂的长度在(L₁-Δx/2，L₂+Δx/2)间随机变化；

或者，用ψ表示无序度，ψ＝Δx/p，Δx表示L₁和L₂分别减少和增加的随机长度；每个周期内的金属的宽度的变化值在(-p×ψ，+p×ψ)内变化，即L₁的长度在(L₁-p×ψ，L₁+p×ψ)范围内随机变化，L₂的长度在(L₂-p×ψ，L₂+p×ψ)范围内随机变化。

2.根据权利要求1所述的表面等离子体滤波器，其特征在于，金属异质波导为上下对称结构。

3.根据权利要求1或2所述的表面等离子体滤波器，其特征在于，金属异质波导结构由磁控溅射方法得到。

4.根据权利要求3所述的表面等离子体滤波器，其特征在于，所述表面等离子体滤波器绝缘体为空气层。

5.根据权利要求4所述的表面等离子体滤波器，其特征在于，所述金属异质波导的材质为铝和银。

6.根据权利要求5所述的表面等离子体滤波器，其特征在于，铝对应的宽度为L₁＝270纳米，银对应的宽度为L₂＝230纳米。

7.根据权利要求6所述的表面等离子体滤波器，其特征在于，所述金属异质波导的无序度为10％-28％。

8.根据权利要求7所述的表面等离子体滤波器，其特征在于，所述表面等离子体滤波器的周期p＝L₁+L₂，所述随机结构包括六十个周期。

9.一种权利要求1-8任一所述的表面等离子体滤波器在光电子设备中的应用。

10.一种权利要求1-8任一所述的表面等离子体滤波器在近红外波段、光信息处理中的应用。