[发明专利]高强度高导热氮化硅基板的生产方法

权利要求书

1.高强度高导热氮化硅基板的生产方法，所述基板的的尺寸主要是边长为100mm-200mm的正方形或长方形，板厚为0.3-0.7mm，所述基板的成分，按重量比例如下：氮化硅78-82份，三氧化二镱0.5-1.5份，氧化鎂7-9份，氧化钇0.5-1.5份，其特征在于，具体步骤如下：

一、备料：

A、将上述原料粉末用砂磨机磨细，粒径D₅₀0.5微米，真空搅拌、真空烘干，造粒，用80目筛网过筛；

B、准备覆盖料，覆盖料的成分按重量比例为氮化硼6，碳化硼4，上述两种粉末混合均匀后得覆盖料；

二、压模：使用边长为100mm-200mm的长方形或正方形、高10-20mm的框形模具和程控压机，首先，在模具中添加覆盖料，刮平，按800kg/cm²的压力压平；其次加入基板料，刮平，按800kg/cm²的压力压平；最后加入覆盖料，刮平；按1200kg/cm²的压力压平，保压20秒钟后，被压实的三层胚料出模，这种上下有覆盖料，中间为基板料的胚料，俗称三明治胚料，在这种压实后的三明治胚料中，上下两层覆盖料厚度相等，每层覆盖料和基板料厚度之比为1.5-2:1，考虑到烧结时胚料的收缩，基板胚料的厚度为烧成厚度的1.5-1.7倍；

三、烧结、机加工。

2.根据权利要求1所述的高强度高导热氮化硅基板的生产方法，其特征在于，所述烧结是：把上述成型的三明治胚料放入震荡热压炉的石墨板夹层中，在震荡、加压、氮气保护下进行热夯实烧结，主压力150-200 kg/cm²，震荡压力20-50 kg/cm²，震荡频率，5-10次/分钟。

3.根据权利要求2所述的高强度高导热氮化硅基板的生产方法，其特征在于，主压力和震荡压力对三明治胚料都是垂直均匀布置。

4.根据权利要求1所述的高强度高导热氮化硅基板的生产方法，其特征在于，机加工是：由于覆盖料在1800°C是不能被烧结的，胚料出炉后使用刮刀将覆盖料刮去，过筛、保留下次再用，氮化硅基板胚子经加工磨光即成为用户使用的氮化硅基板了。