[发明专利]一种具有振动隔离嵌套结构的检测装置

说明书

本发明公开了一种具有振动隔离嵌套结构的检测装置，涉及光学性能参数检测技术领域，所述装置包括：微环境控制模块，所述微环境控制模块包括上层气浴单元和下层气浴单元，其中，所述上层气浴单元位于所述检测装置的上层，所述下层气浴单元位于所述上层气浴单元下方；带有隔振器的光学检测台架，所述带有隔振器的光学检测台架设置在所述上层气浴单元和所述下层气浴单元之间；位移台模块，所述位移台模块位于所述微环境控制模块下方，与所述微环境控制模块和所述带有隔振器的光学检测台架相互独立。达到了阻断微环境控制模块所产生的振动，实现检测环境的绝对安静，提高检测精度的技术效果。

技术领域

本发明涉及光学性能参数检测技术领域，尤其涉及一种具有振动隔离嵌套结构的检测装置。

背景技术

随着计算机技术的迅速发展、以及CCD、CMOS等半导体光电转换传感器和图像采集器件的广泛应用，精密光学测量步入基于图像分析和图像处理的阶段。预达到光学检测的高精度，检测系统除了必须工作于恒温、恒湿、恒压的环境外，还需要对振动进行隔离与控制，使检测环境达到一个绝对安静的等级。尤其对于有微环境控制模块的光学检测系统，会多出若干管道、线缆以及气浴单元，使系统更趋于复杂化，这些都会引入一定的振动。

但现有技术至少存在如下技术问题：

现有技术中的光学检测系统通常为振动敏感部件加装隔振器，但对管道和线缆并不做单独隔离，从而造成对检测精度带来很大影响的技术问题。

发明内容

本发明实施例提供了一种具有振动隔离嵌套结构的检测装置，用以解决现有技术中的光学检测系统通常为振动敏感部件加装隔振器，但对管道和线缆并不做单独隔离，从而造成对检测精度带来很大影响的技术问题。达到了阻断微环境控制模块所产生的振动，实现检测环境的绝对安静，提高检测精度的技术效果。

为了解决上述问题，本发明实施例提供了一种具有振动隔离嵌套结构的检测装置，所述装置包括：微环境控制模块，所述微环境控制模块包括上层气浴单元和下层气浴单元，其中，所述上层气浴单元位于所述检测装置的上层，所述下层气浴单元位于所述上层气浴单元下方；带有隔振器的光学检测台架，所述带有隔振器的光学检测台架设置在所述上层气浴单元和所述下层气浴单元之间；位移台模块，所述位移台模块位于所述微环境控制模块下方，与所述微环境控制模块和所述带有隔振器的光学检测台架相互独立。

优选的，所述带有隔振器的光学检测台架包括：基板；隔振器单元，所述隔振器单元包括四个隔振器，分别位于所述基板下表面的四角处，隔离地面传到光学检测台架上的振动；光学部件，所述光学部件设置在所述基板的中心位置。

优选的，所述带有隔振器的光学检测台架还包括：法兰，所述法兰设置在所述基板与所述光学部件之间，将所述光学部件安装在所述基板上。

优选的，所述微环境控制模块还包括：分流单元，所述分流单元位于所述上层气浴单元之上；下层托架，所述下层托架通过钢管与所述分流单元连接并导通气流，连通所述分流单元与所述下层气浴单元，所述下层托架位于所述下层气浴单元之下，对所述下层气浴单元进行承托。

优选的，所述下层气浴单元的中心位置具有一通孔，且所述光学部件能够置于所述通孔中。

优选的，所述微环境控制模块还包括：微环境控制模块框架，所述微环境控制模块框架的一端与所述上层气浴单元两侧连接，对所述微环境控制模块进行支撑，架设于所述光学检测台架和所述位移台模块之上。

优选的，所述位移台模块设置在四个所述隔振器之间。

本发明实施例中的上述一个或多个技术方案，至少具有如下一种或多种技术效果：