[发明专利]一种气体过滤装置在审
申请号: | 201910224200.8 | 申请日: | 2019-03-22 |
公开(公告)号: | CN109794109A | 公开(公告)日: | 2019-05-24 |
发明(设计)人: | 李广圣;蒋雷;谢超;朱凯迪 | 申请(专利权)人: | 成都中电熊猫显示科技有限公司 |
主分类号: | B01D46/00 | 分类号: | B01D46/00;B01D46/42;H05F3/06 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 文小莉;刘芳 |
地址: | 610200 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 过滤组件 气体管道 气体过滤装置 风机 离子风棒 风机过滤机组 清洁空气 出风口 进风口 基板 吸入 外界空气过滤 工作效率高 产品良率 外界空气 依次设置 轴流风机 电荷 静电 洁净度 电离 出风 吹出 | ||
本发明提供一种气体过滤装置。本发明的气体过滤装置,包括风机过滤机组和多个离子风棒;风机过滤机组包括风机、气体管道、第一过滤组件和第二过滤组件,风机、第一过滤组件和第二过滤组件均设置在气体管道内,且第一过滤组件、风机和第二过滤组件沿气体管道的出风方向依次设置,风机为轴流风机,气体管道的进风口用于吸入外界空气,离子风棒设置在气体管道的出风口,第一过滤组件和第二过滤组件用于将进风口吸入的外界空气过滤为清洁空气,离子风棒用于将由出风口吹出的清洁空气电离为带有电荷的空气。本发明的气体过滤装置可同时保障基板洁净度及消除基板静电,工作效率高,可提高产品良率。
技术领域
本发明涉及半导体及平板显示技术领域,尤其涉及一种气体过滤装置。
背景技术
在平板显示与半导体行业中,为了保证显示面板的质量,生产现场的环境质量一般需要进行严格的控制,以避免环境中的杂质对显示面板的生产造成影响。
目前,在生产时,基板在制作及传输过程中会产生和积累静电电荷,并可能引发静电击穿现象,为了避免静电荷对基板等产品造成影响,可以利用离子棒消除基板表面的静电电荷。具体的,离子棒可以配合气源使用,离子棒通电后,在离子棒的周围产生高压电场,气源所吹出的空气通过离子棒所产生的高压电场后产生带电离子,带电离子随气源的气流运动至基板表面,与基板表面的静电电荷中和,达到消除基板表面静电的目的。
但是,目前利用离子棒消除基板表面的静电,离子棒的电离范围较小,对于静电荷的去除效果较差,影响到了基板的生产质量。
发明内容
本发明提供一种气体过滤装置,具有较大的静电消除范围,能够提高产品良率。
本发明提供一种气体过滤装置,包括风机过滤机组和多个离子风棒;风机过滤机组包括风机、气体管道、第一过滤组件和第二过滤组件,风机、第一过滤组件和第二过滤组件均设置在气体管道内,且第一过滤组件、风机和第二过滤组件沿气体管道的出风方向依次设置,风机为轴流风机,气体管道的进风口用于吸入外界空气,离子风棒设置在气体管道的出风口,第一过滤组件和第二过滤组件用于将进风口吸入的外界空气过滤为清洁空气,离子风棒用于将由出风口吹出的清洁空气电离为带有电荷的空气。
在一种可能的实施方式中,气体过滤装置还包括挡板,挡板盖设在出风口上并封闭出风口与离子风棒之间的间隙,以使出风口吹出的清洁空气经由离子风棒排出;其中,离子风棒在出风口覆盖的范围内均匀排布。
在一种可能的实施方式中,出风口的截面为矩形,多个离子风棒沿出风口的长度方向和宽度方向呈矩阵式排列。
在一种可能的实施方式中,离子风棒包括壳体和离子针;
壳体具有两端开口的容置腔,容置腔的一端开口朝向第二过滤组件并形成进风端,另一端开口背离第二过滤组件并形成出风端,离子针设置在容置腔内,且离子针的第一端与容置腔的进风端相对固定,离子针的第二端向容置腔的出风端伸出;容置腔的出风端的内径大于容置腔的进风端的内径。
在一种可能的实施方式中,容置腔的出风端的横截面积沿进风端至出风端的方向逐渐增大,且容置腔具有流线型腔壁。
在一种可能的实施方式中,容置腔的进风端具有至少两个,且进风端的延伸方向与离子针的长度方向相互垂直。
在一种可能的实施方式中,气体过滤装置还包括多个可调基座,可调基座与离子风棒一一对应设置,且可调基座第一端与离子风棒连接,可调基座第二端固定在出风口内;可调基座的第一端用于相对于第二端偏转,以使离子风棒的指向与出风口的出风方向之间具有可调的夹角。
在一种可能的实施方式中,进风口的横截面积可以调节。
在一种可能的实施方式中,第一过滤组件包括至少一个第一滤网,第二过滤组件包括至少一个第二滤网,第一滤网的滤孔大小大于第二滤网的滤孔大小。
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