[发明专利]激光器输出光空间相干性抑制装置在审
| 申请号： | 201910226513.7 | 申请日： | 2019-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN109814270A | 公开（公告）日： | 2019-05-28 |
| 发明（设计）人： | 冯鹏;唐锋;王向朝 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B27/48 | 分类号： | G02B27/48;G01D5/353 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 毛玻璃 空间相干性 激光器 成像透镜 输出光 传输光纤 抑制装置 匀光棒 非相干叠加 聚焦透镜 模间色散 数值孔径 照明光场 照明光瞳 照明视场 均匀性 扩束镜 | ||
1.一种激光器输出光空间相干性抑制装置，其特征在于，包括激光器(1)、扩束镜(2)、聚焦透镜(3)、第一毛玻璃(401)、传输光纤(602)、第一成像透镜(701)、匀光棒(8)和第二成像透镜(702)；
所述的激光器(1)输出的激光束依次经所述的扩束镜(2)、聚焦透镜(3)和第一毛玻璃(401)正入射至所述的传输光纤(602)的光纤输入端(601)，该光纤输入端(601)位于所述的聚焦透镜(3)的焦点位置，且与该聚焦透镜(3)平行，经传输光纤(602)传输的激光束由光纤输出端(603)输出，经所述的第一成像透镜(701)成像至匀光棒(8)的前端面后，经匀光棒(8)传输至其后端面，再经第二成像透镜(702)成像至照明光场(G1)，形成照明光瞳(G2)。
2.根据权利要求1所述的激光器输出光空间相干性抑制装置，其特征在于，还包括第二毛玻璃(402)和第三毛玻璃(403)，所述的第二毛玻璃(402)放置在所述的第一成像透镜(701)和匀光棒(8)之间，所述的第三毛玻璃(403)放置在第二成像透镜(702)后。
3.根据权利要求1或2所述的激光器输出光空间相干性抑制装置，其特征在于，还包括五自由度光纤调整架(5)，该五自由度光纤调整架(5)是五自由度对准，分别是在X，Y和Z轴的线性对准，俯仰和偏转角度的对准，所述的光纤输入端(601)的固定于五自由度光纤调整架(5)上，通过调节五自由度光纤调整架(5)，使激光束正入射该光纤输入端(601)。
4.根据权利要求1-3任一所述的激光器输出光空间相干性抑制装置，其特征在于，所述的传输光纤(602)是多模光纤或液体光纤。
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