[发明专利]一种多晶硅铸锭用坩埚及其制备方法

权利要求书

1.一种多晶硅铸锭用坩埚，其特征在于，包括坩埚基体，和设置在所述坩埚基体内壁的硬质涂层，所述硬质涂层的成分包括氮化硅粉体、硅溶胶和粘结剂，所述粘结剂包括聚乙烯醇、聚乙烯吡咯烷酮和聚乙烯醇缩丁醛中的一种或多种；所述硬质涂层的粗糙度为1.0-1.5μm。

2.如权利要求1所述的多晶硅铸锭用坩埚，其特征在于，所述硬质涂层的成分还包括改性剂，所述改性剂包括正硅酸乙酯、聚硅氮烷、白炭黑和纳米石英粉中的一种或多种。

3.如权利要求1所述的多晶硅铸锭用坩埚，其特征在于，所述硬质涂层的厚度为150μm-450μm。

4.如权利要求1所述的多晶硅铸锭用坩埚，其特征在于，所述硬质涂层的邵氏硬度为80-90HD。

5.一种多晶硅铸锭用坩埚的制备方法，其特征在于，包括：

提供或制备坩埚基体，对所述坩埚基体的内壁进行表面预处理；

分别称取氮化硅粉体、硅溶胶、分散剂和粘结剂，在所述氮化硅粉体中添加所述分散剂后进行第一次球磨处理，所述第一次球磨处理时间为0.5-1.5小时；将经所述第一次球磨处理后的所述氮化硅粉体与所述硅溶胶混合得到混合料，对所述混合料进行第二次球磨处理，所述第二次球磨处理时间为2-5小时；向经所述第二次球磨处理的所述混合料中加入所述粘结剂，混合，经第三次球磨处理后得到硬质涂层浆料；

将所述硬质涂层浆料涂布在所述表面预处理后的所述坩埚基体的内壁上，于70-120℃下养护6-10小时后，冷却至室温得到多晶硅铸锭用坩埚。

6.如权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述分散剂包括去离子水、乙醇或丙醇中的一种或多种；所述粘结剂包括聚乙烯醇、聚乙烯吡咯烷酮和聚乙烯醇缩丁醛中的一种或多种。

7.如权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述硬质涂层浆料中，所述氮化硅粉体和所述硅溶胶的质量比为1：(0.3-1)，所述分散剂的质量占所述硬质涂层浆料总质量的40％-60％，所述粘结剂的质量占所述硬质涂层浆料总质量的1％-10％。

8.如权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述硬质涂层浆料的粒度D50为0.5-2μm，粒度D90为2-5μm。

9.如权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述硬质涂层浆料的粘度范围为10-20cp。

10.如权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述加入所述粘结剂的同时还包括添加改性剂，所述改性剂包括正硅酸乙酯、聚硅氮烷、白炭黑和纳米石英粉中的一种或多种，所述改性剂的质量占所述硬质涂层浆料总质量的0.1％-2％。