[发明专利]隔离系统和基底加工设备

说明书

隔离系统的示例包括：数字隔离器，其用于在其输入侧接收第一电源的供给，并且在其输出侧接收第二电源的供给；以及输出调节单元，其用于接收所述第二电源的供给，当所述第二电源的电压大于预定电压时直接输出所述数字隔离器的输出，并且当所述第二电源的电压小于或等于所述预定电压时停止与所述数字隔离器的输出无关的数据输出。

技术领域

描述了涉及隔离系统和使用其的基底加工设备的示例。

背景技术

当前，基于光电耦件的信号隔离已经广泛地用于诸如工业设备或医疗设备的需要电隔离的系统。然而，由于诸如低数据速率、占空率恶化等问题，在系统中使用光电耦件来处理近期的高速操作已经变得困难。因此，前述的方法已经被使用能够解决这些问题的数字隔离器的隔离方法取代。

例如，ADS板被用于以50毫秒的周期控制与电抗器有关的AIO、DIO。在ADS板中，光电耦件被用作DO的隔离元件。当光电耦件被用作为了进一步的高速驱动的目的而开发的快速ADS的隔离元件时，不能获得50％的占空率。因此，能够采用数字隔离器，其甚至在高速驱动下也能够实现50％的占空率。数字隔离器的输出侧可能在供电不稳定状态等，在通电时刻、断电时刻等落入不定态。这样的不定态可能损害可靠性或安全性。

发明内容

本文描述的一些示例可以解决上述问题。本文描述的一些示例可以提供隔离系统和能够增强可靠性的基底加工设备。

在一些示例中，隔离系统包括：数字隔离器，其用于在其输入侧接收第一电源的供给，并且在其输出侧接收第二电源的供给；以及输出调节单元，其用于接收第二电源的供给，当第二电源的电压大于预定电压时直接输出数字隔离器的输出，并且当第二电源的电压小于或等于预定电压时停止与数字隔离器的输出无关的数据输出。

附图说明

图1为示出隔离系统的示例的简图；

图2为示出数字隔离器的真值表的示例的简图；

图3为示出输出单元的真值表的示例的简图；

图4为示出隔离系统的配置的示例的简图；

图5为示出操作的示例的时间图；

图6A为示出操作的示例的时间图；

图6B为示出操作的示例的时间图；

图7A为示出操作的示例的时间图；

图7B为示出操作的示例的时间图；

图8为示出操作的示例的时间图；

图9为示出控制器的示例的简图；

图10为示出恒定电流电路的配置的示例的简图；

图11为示出通电时刻的电压波形的简图；以及

图12为示出基底加工设备的示例的简图。

具体实施方式

将参照附图描述根据实施例的隔离系统和基底加工设备。相同或对应的组成元件由相同的附图标记表示，并且可以省略其重复的描述。

图1为示出隔离系统的示例的简图。隔离系统10包括具有数字隔离器的隔离单元11、输出单元14以及控制器12。将在下文中描述这些单元的各自的配置。

(1)隔离单元11