[发明专利]高精度全自动配气系统及方法

权利要求书

1.一种高精度全自动配气系统，其特征在于：包括气源，气源包括供气模块A和供气模块B，供气模块A和供气模块B分别连通有流量计A和流量计B，且流量计A和流量计B均连通于测试箱及控制PC；流量计A和流量计B入口分别连通供气模块A和供气模块B，出口连通有三通电磁阀A和三通电磁阀B；三通电磁阀A和三通电磁阀B的入口分别连通流量计A和流量计B，出口之一分别连通流量校准仪A和流量校准仪B，出口之二分别连通测试箱；流量校准仪A和流量校准仪B均连通于控制PC。

2.根据权利要求1所述的一种高精度全自动配气系统，其特征在于：供气模块A和供气模块B均由钢气瓶构成。

3.根据权利要求2所述的一种高精度全自动配气系统，其特征在于：流量计A和流量计B通过控制PC内置的控制软件控制实现两条气路上气体的流量控制。

4.根据权利要求3所述的一种高精度全自动配气系统，其特征在于：三通电磁阀A和三通电磁阀B通过控制PC内置的控制软件控制实现选通或切断气路连接。

5.根据权利要求4所述的一种高精度全自动配气系统，其特征在于：流量校准仪A和流量校准仪B将实时测到的流量值传输给控制PC。

6.一种高精度全自动配气方法，其特征碍于：其利用权利要求6所述的高精度全自动配气系统进行自动配气，步骤如下：

1)于控制PC的控制软件内输入用于配气的气源浓度C1和C2、及所需配比的气体浓度Ct，C1可为纯N2，C2可为5000ppm二氧化碳；

2)获得所需理论流量F1和F2：

F1+F2＝2000sccm；

F1＝Ct/C2*2000；

F2＝2000-F1；

3)三通电磁阀A和三通电磁阀B与流量校准仪A和流量校准仪B相连的一端打开，与测试箱相连的另一端默认为关闭状态，根据计算出来的理论流量值F1和F2，设置流量计A和流量计B的流量；

4)流量校准仪A和流量校准仪B、以及流量计A和流量计B均打开；

5)读取流量校准仪A和流量校准仪B实时流量值f1和f2，当f1>F1时，控制PC调小流量计流量设定值，当f1<F1时，控制PC调大流量计流量设定值，当f1与F1差值<±1sccm时，记录流量计A设定值，用相同方法调节f2，并记录流量计B流量设定值；

6)依次配比其他所需浓度，并得到相应流量计流量设定值；关闭三通电磁阀与流量校准仪相连一端，打开三通电磁阀与测试箱相连一端，根据刚才配比好的流量计设定值设置所需浓度用于测试。