[发明专利]树脂成形装置及树脂成形品的制造方法

说明书

本发明是一种不会使喷嘴更换的作业性变差且使液状树脂的粘度降低的树脂成形装置及树脂成形品的制造方法，树脂成形装置(1)将液状树脂(30)供给至喷出对象物(14)来进行树脂成形，且包括：喷嘴(29)，将液状树脂(30)喷出至喷出对象物(14)；加热部(31)，与喷嘴(29)接触而对喷嘴(29)进行加热；以及切换机构(34)，对喷嘴(29)及加热部(31)彼此接触的接触状态与喷嘴(29)及加热部(31)彼此分离的分离状态进行切换。

技术领域

本发明涉及一种树脂成形装置及树脂成形品的制造方法。

背景技术

以往，基板上所安装的半导体芯片例如是使用包括硅酮树脂或环氧树脂等热硬化性树脂的液状树脂来进行树脂密封。作为进行树脂密封的技术，使用压缩成形、转注成形等树脂成形技术。在使用液状树脂的树脂成形中，是通过使作为硬化剂等辅助剂的液状树脂混合于作为主剂的液状树脂中，并对混合后的液状树脂进行加热来进行树脂成形。

在使用所述液状树脂的树脂密封中，将喷出液状树脂的喷嘴插入至上模具与下模具之间，对下模具中所形成的腔室供给液状树脂。此处，因液状树脂随着其温度上升而粘度变低，所以为了使液状树脂容易从喷嘴喷出而对液状树脂进行了加热。

作为对液状树脂进行加热者，考虑如专利文献1所示，在一体形成有输液管的喷嘴中，在所述输液管的外周设置螺旋状的配管而构成了温度调节器者。并且，通过所述温度调节器而使热硬化性树脂成为具有流动性的程度(level)的液状树脂。

然而，在对一体形成于喷嘴的输液管设置所述温度调节器的构成中，喷嘴的结构变复杂，伴随于此，喷嘴更换的作业性也变差。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2012-232437号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

因此，本发明是为了解决所述问题点而成，其主要课题在于不会使喷嘴更换的作业性变差且使液状树脂的粘度降低。

[解决问题的技术手段]

即本发明的树脂成形装置是将液状树脂供给至喷出对象物来进行树脂成形的树脂成形装置，包括：喷嘴，将所述液状树脂喷出至所述喷出对象物；加热部，与所述喷嘴接触而对所述喷嘴进行加热；以及切换机构，对所述喷嘴及所述加热部彼此接触的接触状态与所述喷嘴及所述加热部彼此分离的分离状态进行切换。

本发明的树脂成形品的制造方法是将液状树脂从喷嘴喷出至喷出对象物，并使用所喷出的液状树脂进行树脂成形来制造树脂成形品的树脂成形品的制造方法，其中：使所述喷嘴与相对于所述喷嘴而能够接触、分离地设置的加热部接触以进行加热后，对所述喷出对象物喷出液状树脂。

[发明的效果]

根据如此构成的本发明，可不使喷嘴更换的作业性变差且使液状树脂的粘度降低。

附图说明

图1是示意性表示本实施方式的树脂成形装置的构成的图。

图2(1)、图2(2)是表示本实施方式的树脂供给机构的概略图，图2(1)是表示树脂供给机构将液状树脂供给至下模具的腔室的状态的概略图，图2(2)是表示树脂供给机构的概略平面图。

图3(1)、图3(2)是表示喷嘴加热时的状态(接触状态)的概略图，图3(1)是主要部分平面图，图3(2)是主要部分侧面图。

图4(1)、图4(2)是表示喷嘴冷却时的状态(接触状态)的概略图，图4(1)是主要部分平面图，图4(2)是主要部分侧面图。

图5是示意性表示变形实施方式的树脂成形装置的构成的图。