[发明专利]一种Cu/Zn共注入TiN包裹钛合金的制备方法及应用在审
| 申请号： | 201910230485.6 | 申请日： | 2019-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN109778132A | 公开（公告）日： | 2019-05-21 |
| 发明（设计）人： | 李德军;李庆玲;赵梦鲤;李力;董磊 | 申请（专利权）人： | 天津师范大学 |
| 主分类号： | C23C14/48 | 分类号： | C23C14/48;C23C14/06;C23C14/02;C22C14/00;C23C14/34;A61L27/06;A61L27/30;A61L31/02;A61L31/08 |
| 代理公司： | 天津市杰盈专利代理有限公司 12207 | 代理人： | 朱红星 |
| 地址： | 300387 *** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 钛合金 离子 制备 等离子体浸没 离子注入技术 细胞相容性 医用钛合金 耐磨性 表面沉积 材料使用 骨种植体 使用寿命 氮化钛 抗菌性 植体 应用 协同 释放 | ||
1.一种Cu/Zn共注入TiN包裹钛合金的制备方法，其特征在于按如下的步骤进行：
（1）将直径10 mm，厚度2mm的钛合金分别用蒸馏水、无水乙醇和丙酮溶液超声清洗，反复清洗几次；
（2）将步骤（1）中清洗后的钛合金放入真空室内，当基体压强达到10-5-10-7高真空时，在400-500V偏压下，用氩离子清洗钛合金10-20min；
（3）步骤（2）完成后，打开流量计，使氩气和氮气的流量按体积比3:1-9:1比例，打开直流弧源，在氩气和氮气的氛围中溅射钛靶(99.99%)5-180min，真空中钛离子与氮离子结合形成TiN，沉积在钛合金表面，TiN涂层为500nm-2μm；
（4）步骤（3）完成后，关闭氮气，将氩气调小3-15sccm流量，在开负-10--30kV高压的情况下，打开两个脉冲弧源同时电离纯铜靶和纯锌靶10-120min，将电离的铜离子和锌离子共注入到氮化钛包裹的钛合金中，即制得含有铜、锌离子的钛合金样品Cu/Zn-TiN-Ti-6Al-4V；所述的铜离子脉冲计数范围为600-7200，锌离子脉冲计数范围为600-7200。
2.权利要求1所述的制备方法，其中沉积时间为5-180分钟，铜、锌离子共注入时，共注入时间为20-120分钟。
3.采用权利要求1所述方法制备的Cu/Zn-TiN-Ti-6Al-4V在延长骨科钛合金植体使用寿命方面的应用。
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