[发明专利]一种氮化物陶瓷流延浆料及其制备的氮化物陶瓷基片

权利要求书

1.一种氮化物陶瓷流延浆料，包括：复合陶瓷粉体、混合溶剂、分散剂、增塑剂、粘结剂和消泡剂；其中所述粘结剂由聚乙烯醇缩丁醛和聚氯乙烯组成，聚乙烯醇缩丁醛和聚氯乙烯的质量比为20:1~4:1；以所述复合陶瓷粉体的质量为基准，所述粘结剂的质量为所述复合陶瓷粉体质量的3%~10%；

所述复合陶瓷粉体的体积占所述氮化物陶瓷流延浆料总体积的32%~42%；复合陶瓷粉体由氮化物粉体和烧结助剂组成；所述氮化物粉体和所述烧结助剂的质量比为8:2~9.5:0.5；所述氮化物粉体为氮化硅或氮化铝；所述烧结助剂由金属氧化物和稀土氧化物组成，所述金属氧化物和稀土氧化物的质量比为1:1~1:5；所述金属氧化物选自MgO、CaO、TiO₂和Al₂O₃中的一种以上，所述稀土氧化物选自Y₂O₃、Yb₂O₃、Er₂O₃、Ho₂O₃和CeO₂中的一种以上；

所述混合溶剂由乙醇和丁酮组成；乙醇和丁酮的质量比为6:4；以复合陶瓷粉体的质量为基准，所述混合溶剂的质量为所述复合陶瓷粉体质量的33%~52%；

所述分散剂选自磷酸三乙酯、蓖麻油和丙烯酸铵中的一种；以所述复合陶瓷粉体的质量为基准，所述分散剂的质量为所述复合陶瓷粉体质量的0.5%~5%；

所述增塑剂选自聚乙二醇和邻苯二甲酸丁苄酯中的一种；以所述复合陶瓷粉体的质量为基准，所述增塑剂的质量为所述复合陶瓷粉体质量的0.15%~1.6%；

所述消泡剂选自聚醚改性硅、聚二甲基硅氧烷和丙烯酸乳液中的一种；以所述氮化物陶瓷流延浆料的总质量为基准，所述消泡剂的质量占所述氮化物陶瓷流延浆料总质量的0.05%~1%。

2.根据权利要求1所述的氮化物陶瓷流延浆料，其特征在于，所述聚乙烯醇缩丁醛和聚氯乙烯的质量比为12:1~6:1。

3.根据权利要求1所述的氮化物陶瓷流延浆料，其特征在于，

所述聚乙烯醇缩丁醛的分子量为1500~10000；所述聚氯乙烯的分子量为1500~5000。

4.根据权利要求1或2所述的氮化物陶瓷流延浆料，其特征在于，所述粘结剂的质量为所述复合陶瓷粉体质量的5%~10%。

5.根据权利要求1所述的氮化物陶瓷流延浆料，其特征在于，

所述氮化硅的粒度为D₅₀=0.3μm-2μm；所述氮化铝的粒度为D₅₀=0.5μm-2μm。

6.根据权利要求1所述的氮化物陶瓷流延浆料，其特征在于，所述金属氧化物和稀土氧化物的质量比为1:1~1:3。

7.根据权利要求1所述的氮化物陶瓷流延浆料，其特征在于，所述金属氧化物为MgO、CaO和Al₂O₃中的一种。

8.根据权利要求1所述的氮化物陶瓷流延浆料，其特征在于，所述稀土氧化物为Y₂O₃、Yb₂O₃和Er₂O₃中的一种。

9.根据权利要求1所述的氮化物陶瓷流延浆料，其特征在于，所述烧结助剂选自MgO+Yb₂O₃、CaO+ Er₂O₃和Al₂O₃+Y₂O₃中的一种，其中两种氧化物的质量比为1:1~1:5。

10.根据权利要求9所述的氮化物陶瓷流延浆料，其特征在于，两种氧化物的质量比为1:1~1:3。