[发明专利]喷淋结构及化学源供给系统在审
| 申请号： | 201910230796.2 | 申请日： | 2019-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN109939618A | 公开（公告）日： | 2019-06-28 |
| 发明（设计）人： | 王卓 | 申请（专利权）人： | 沈阳拓荆科技有限公司 |
| 主分类号： | B01J4/00 | 分类号： | B01J4/00 |
| 代理公司： | 沈阳维特专利商标事务所(普通合伙) 21229 | 代理人： | 甄玉荃 |
| 地址： | 110179 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多孔性基体 喷淋结构 化学源 筛板 供给系统 气流均匀 固定架 支撑 | ||
【权利要求书】：
1.一种喷淋结构，其包含：
多孔性基体筛板，其系用以使来自化学源的气流均匀分布；及
固定架，其系用来支撑前述多孔性基体筛板。
2.如权利要求1所述的喷淋结构，其特征在于，其中前述多孔性基体筛板的孔隙率系在1％-25％之间。
3.如权利要求1所述的喷淋结构，其特征在于，其中前述多孔性基体筛板的上表面，呈现中高周围低的山丘形体。
4.如权利要求3所述的喷淋结构，其特征在于，其中前述多孔性基体筛板的上表面系具有导流道。
5.如权利要求1所述的喷淋结构，其特征在于，其中前述固定架系具有一支撑环结构，其系用来支撑前述多孔性基体筛板。
6.如权利要求1所述的喷淋结构，其特征在于，其中前述固定架系具有一支撑板，其系用来支撑前述多孔性基体筛板，并具有多个通孔。
7.如权利要求1所述的喷淋结构，其特征在于，其中前述固定架系具有一支撑结构，系用来支撑前述多孔性基体筛板，并具有多个区域开口。
8.一种化学源供给系统，其包含：
化学源，其系供给化学气体；
如权利要求1至7项中任一项所述的喷淋结构；及
供给管路，其系一端连通于前述化学源，另一端连通至前述喷淋结构之前述多孔性基体筛板；藉由前述多孔性基体筛板，使得前述化学气体得以均匀地由前述喷淋结构喷出。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于沈阳拓荆科技有限公司，未经沈阳拓荆科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910230796.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
