[发明专利]用于超大型空间环境模拟器的真空抽气系统及其配置方法

权利要求书

1.超大型空间环境模拟设备真空系统，包括低温泵系统、分子泵系统、粗抽系统，各分系统通过真空容器预留法兰实现与真空容器的连接，真空容器内部安装有热沉和过渡抽气冷板，真空容器上同时安装有真空测量仪器用于实现真空容器内的压力监测；其中：

低温泵系统按照安装顺序依次由低温泵入口真空插板阀、低温泵全量程真空规、低温泵、低温泵预抽真空阀、低温泵前级管道低真空规、低温泵前级管道放气阀、低温泵前级泵入口阀和低温泵前级干泵组成，以上所有设备部件通过真空管道实现串联连接；

分子泵系统按照安装顺序依次由分子泵入口真空插板阀、分子泵全量程真空规、分子泵、分子泵预抽真空阀、分子泵前级管道低真空规、分子泵前级管道放气阀、分子泵前级泵入口阀和分子泵前级干泵组成，以上所有设备部件通过真空管道实现串联连接；

粗抽系统按照安装顺序依次由粗抽压力平衡阀、粗抽入口真空插板阀、粗抽主管道低真空规、主管道液氮冷阱、主抽管道真空放气阀、罗茨泵入口蝶阀、粗抽支管道低真空规、第一级罗茨泵、第一级罗茨泵旁通蝶阀、第二级罗茨泵、粗抽螺杆干泵和排气消音器组成，以上所有设备部件通过真空管道实现串联连接。

2.如权利要求1所述的超大型空间环境模拟设备真空系统，其中，所述真空容器为6000m³超大型立式真空容器，顶部为大门，一层底部为侧门，真空容器(6000m³)内部装有热沉，侧门位置内部装有过渡抽气冷板，真空容器(6000m³)整体按照基建与功能布局分为地下一层、一层、二层、三层和四层位置。

3.如权利要求1所述的超大型空间环境模拟设备真空系统，其中，所述过渡抽气冷板位于真空容器侧门内部位置，具体结构为直径￠4500mm的圆饼形结构，内部通过液氮制冷的方式实现100K的低温，其主要是利用冷板抽除水蒸气，来降低真空容器内部气体负荷，辅助实现系统的过渡抽气。

4.如权利要求1所述的超大型空间环境模拟设备真空系统，其中，所述真空抽气系统在真空容器上安装有真空测量仪器用于实现真空容器(6000m³)内的压力监测，分别在真空容器一层、二层和三层位置各装有两套真空规，两套分别为高精度薄膜真空规和全量程真空规，监测真空容器各个梯度的位置。

5.如权利要求1所述的超大型空间环境模拟设备真空系统，其中，所述低温泵系统包括10套低温泵（60000L/s）与4套低温泵前级干泵（650m³/h），其中低温泵入口真空插板阀和低温泵（60000L/s）通过真空容器预留法兰安装于真空容器(6000m³)中部二层位置。

6.如权利要求5所述的超大型空间环境模拟设备真空系统，其中，所述低温泵选用一级液氮辅助制冷与二级机械制冷的大口径低温泵，前级干泵选用清洁无油螺杆干泵，保证低温泵系统清洁无污染。

7.如权利要求1所述的超大型空间环境模拟设备真空系统，其中，所述分子泵系统包括8套分子泵（3200L/s）与2套前级干泵（450m³/h），其中分子泵入口真空插板阀和分子泵（3200L/s）通过真空容器预留法兰安装于真空容器(6000m³)中部二层位置。

8.如权利要求7所述的超大型空间环境模拟设备真空系统，其中，所述分子泵选用无脂无油的磁悬浮分子泵，前级干泵选用清洁无油螺杆干泵，保证分子泵系统清洁无污染。

9.如权利要求1所述的超大型空间环境模拟设备真空系统，其中，所述粗抽真空系统包括8套第一级罗茨泵（7000m³/h）+第二级罗茨泵（2000m³/h）+螺杆干泵（650m³/h），其中入口真空插板阀通过真空容器预留法兰安装于真空容器(6000m³)下部一层位置，粗抽机组整体位于地下一层。