[发明专利]一种剪切增稠-电泳复合抛光方法

权利要求书

1.一种剪切增稠-电泳复合抛光方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：

1)选用工件夹具，将其安装在机械臂上；

2)将工件装夹在工件夹具上；

3)配置具有剪切增稠-电泳复合效应的抛光液，并将抛光液置于输液管内；

4)将抛光液输入到抛光盘上，启动主轴带动抛光盘，使得抛光液在抛光盘上相对运动；

5)启动剪切增稠效应控制用机械臂、电泳效应控制用直流电源，在机械臂的作用下，工件表面接触具有剪切增稠-电泳复合效应的抛光液，并提供载荷，主动控制工件微转动，同时电源电极两端产生磨料颗粒的电泳效应，形成抛光液与工件表面的高度吻合与材料去除，实现剪切增稠-电泳复合抛光。

2.如权利要求1所述的一种剪切增稠-电泳复合抛光方法，其特征在于，所述方法的实施设备包括抛光垫、直流电源、主轴、抛光盘、第一电极、机械臂、工件夹具、集液器和抛光液池，所述工件夹具为第二电极，直流电源的正负极分别与所述第一电极、第二电极连接；所述的抛光盘在主轴上，由主轴带动抛光盘，第一电极在抛光盘上，绝缘层在第一电极上，抛光垫在所述绝缘层上，工件夹具位于抛光垫的上方，机械臂上设有工件夹具；所述抛光盘位于所述抛光液池内，所述抛光液池的回流口与集液器连接，所述集液器与输液管连接，所述输液管的出口为加工工位。

3.如权利要求2所述的一种剪切增稠-电泳复合抛光方法，其特征在于，所述的输液管为无色透明软管，内部中空，作为抛光液的输入通道；抛光盘为绝缘陶瓷抛光盘；机械臂为六轴垂直机器人。

4.如权利要求1～3之一所述的一种剪切增稠-电泳复合抛光方法，其特征在于，所述步骤5)的抛光过程中，工件在机械臂控制下的运动：每隔T时间进行一次复杂微转动，该复杂微转动分为Ⅰ阶段和Ⅱ阶段，Ⅰ阶段工件以工件圆心为轴转动微角度，Ⅱ阶段工件以工件夹具为轴旋转360°。

5.如权利要求1～3之一所述的一种剪切增稠-电泳复合抛光方法，其特征在于，所述步骤3)中，抛光液各成分及其比例：抛光磨粒10wt.％-20wt.％、剪切增稠基液20wt.％-30wt.％、水40wt.％-50wt.％、电泳效应的粒子5wt.％-15wt.％。

6.如权利要求5所述的一种剪切增稠-电泳复合抛光方法，其特征在于，所述抛光磨粒为Al₂O₃、氧化铈、CBN、金刚石、SiO₂、SiC颗粒。