[发明专利]一种基于金属微观结构的精密模具

权利要求书

1.一种基于金属微观结构的精密模具，其特征在于，所述模具包括：

衬底，所述衬底为固体材料的支撑衬底；

牺牲层，所述牺牲层附着于所述衬底上；

结构层，所述结构层嵌于所述牺牲层内，且所述结构层的底面位于所述牺牲层内部，所述结构层的顶面裸露在所述牺牲层之上；

三维结构内部腔体，所述三维结构内部腔体位于所述结构层内部；

三维结构腔体外部通孔，所述三维结构腔体外部通孔设置在所述结构层上表面上，且所述三维结构腔体外部通孔与所述三维结构内部腔体相连通；

其中，所述模具还包括：

N层结构层，所述N层结构层逐层叠加在第N层牺牲层上，且所述N层结构层中每层结构层均具有与其对应的三维结构内部腔体；

所述三维结构内部腔体的剖面图形为任意直线走向和/或曲线走向图形截面。

2.如权利要求1所述的模具，其特征在于，所述N层结构层中的各个三维结构内部腔体的形状互不相同。

3.如权利要求1所述的模具，其特征在于，所述衬底具有台阶结构。

4.如权利要求3所述的模具，其特征在于，所述牺牲层厚度大于所述衬底台阶结构的厚度。

5.如权利要求1所述的模具，其特征在于，所述模具精度为0.1～500微米线宽量级。

6.如权利要求1所述的模具，其特征在于，所述牺牲层包括：

第一牺牲层，所述第一牺牲层附着于所述衬底上；

第二牺牲层，所述第二牺牲层附着于所述第一牺牲层上，且所述第二牺牲层中设置有所述结构层。

7.如权利要求6所述的模具，其特征在于，所述结构层底面厚度与所述三维结构内部腔体的最大深度之和与所述第二牺牲层的厚度相等。