[发明专利]真空设备放气取样装置

说明书

本发明公开了一种真空设备放气取样装置，包括高真空设备，所述高真空设备与放气量测量组件相连，所述放气量测量组件包括与高真空设备连通的Ⅱ号阀门、Ⅰ号真空计、Ⅲ号阀门，所述Ⅲ号阀门与Ⅰ号分子泵连通，所述Ⅰ号分子泵与ⅩⅢ号阀门、Ⅺ号阀门、Ⅱ号真空计、放气量测量容器串联。本发明能够获得高真空设备单位时间内等效标准环境条件下放气量。本发发明能够进行高真空设备内放出气体成分的全收集。本发明使用分子泵及液氮冷阱，有效减少了装置内的油蒸汽等污染物，同时通过除气，减少了装置放气对测量、取样的影响。

技术领域

本发明属于真空设备放气测量及取样技术领域，具体涉及一种真空设备放气取样装置。

背景技术

任何材料处于真空环境都会产生气体的释放。放出气体的多少可以用放气量这一指标衡量，通常放气量测量方法有定容法、定压法、固定流导法、收集法和称重法等。而对放气成分分析的方法，通常有在被测设备上安装分析仪器进行分析（在线分析）和采集设备放出气体样（取样）再通过专业仪器分析两种方法。

对于高真空设备，当存在转动及运动部件时，内部产生的气体流动，压力呈不均匀分布，这时使用定容法、定压法、固定流导法等无法准确的获得放气量。而采用收集法、称重法等，需要收集高真空设备内部释放出的全部气体，因此，需要将高真空设备原有抽空管路隔断，这一过程可能会导致高真空设备内压力的升高，损害高真空设备。对于高真空设备放气成分分析，如果采用在线分析，由于高真空设备内部压力非均匀分布，处于高真空设备内部各部位的气体成分及含量可能不同，无法准确分析放气成分及含量。而采用取样分析的方法，必须解决将高真空设备原有抽空管路隔断后真空度破坏问题。与此同时，还需要解决气体收集不完全的问题。

对于如何在保证高真空设备真空要求前提下，达到放气量准确测量及取样获得全部放气成分的装置，通过查阅相关文献，未见描述。

发明内容

本发明为解决现有技术存在的问题而提出，其目的是提供一种真空设备放气取样装置。

本发明的技术方案是：一种真空设备放气取样装置，包括高真空设备，所述高真空设备与放气量测量组件相连，所述放气量测量组件包括与高真空设备连通的Ⅱ号阀门、Ⅰ号真空计、Ⅲ号阀门，所述Ⅲ号阀门与Ⅰ号分子泵连通，所述Ⅰ号分子泵与ⅩⅢ号阀门、Ⅺ号阀门、Ⅱ号真空计、放气量测量容器串联。

所述放气量测量容器两端并联有取样组件，所述取样组件包括依次串联的Ⅲ号真空计、Ⅳ号阀门、取样器、Ⅴ号阀门。

所述取样器置于液氮罐中。

所述高真空设备、Ⅰ号分子泵、Ⅱ号真空计、放气量测量容器、取样器还与抽真空组件连通。

所述抽真空组件包括机械泵，所述机械泵与Ⅱ号分子泵连通，所述Ⅱ号分子泵通过Ⅵ号阀门、Ⅶ号阀门与液氮冷阱连通，所述液氮冷阱通过Ⅸ号阀门、Ⅹ号阀门与放气量测量容器连通。

所述取样组件一端与ⅩⅢ号阀门、Ⅺ号阀门之间的管路接通，另一端与Ⅸ号阀门、Ⅹ号阀门之间的管路接通。

所述Ⅵ号阀门、Ⅶ号阀门之间设置有抽真空支管路，所述抽真空支管路另一端与Ⅱ号阀门、Ⅲ号阀门之间的管路连通。

所述抽真空支管路上设置有ⅩⅣ号阀门、Ⅷ号阀门。

所述抽真空支管路上还设置有Ⅰ号分支管和Ⅱ号分支管，所述Ⅰ号分支管上设置有Ⅻ号阀门。

所述Ⅰ号分支管与ⅩⅢ号阀门、Ⅺ号阀门之间的管路接通，所述Ⅱ号分支管与Ⅸ号阀门、Ⅹ号阀门之间的管路接通。

本发明能够获得高真空设备单位时间内等效标准环境条件下放气量。本发发明能够进行高真空设备内放出气体成分的全收集。本发明使用分子泵及液氮冷阱，有效减少了装置内的油蒸汽等污染物，同时通过除气，减少了装置放气对测量、取样的影响。

附图说明