[发明专利]真空设备放气成分收集装置

说明书

本发明公开了一种真空设备放气成分收集装置，包括真空设备，所述真空设备与分子泵连通，所述分子泵与收集容器连通，所述收集容器置于液氮瓶中，所述真空设备、分子泵、收集容器还与抽真空用的真空泵连通。所述真空泵的抽气口处设置有液氮冷阱。本发明使用分子泵进行收集，较扩散泵缩短了真空设备的抽气时间，获得无油污染的清洁真空环境，避免了油蒸气的污染。本发明采用液氮冷阱阻止真空泵内的油蒸气扩散至收集容器内。减少收集装置本身影响。本发明使用液氮瓶冷冻收集容器，使收集容器内保持低温、低压环境，达到加速气体收集及保持分子泵额定转速运转的目的。本发明中收集容器采用螺栓法兰结构，可以进行拆卸清洗。

技术领域

本发明属于真空设备放气收集技术领域，具体涉及一种真空设备放气成分收集装置。

背景技术

任何材料在真空环境下都会释放出气体，不同材料放气成分不同。真空设备由各种材料组成，内部压力低于一个大气压，有些真空设备内部的结构复杂，存在转动、平动，气体分布不均，进行放气成分分析困难。

对此类真空设备，进行放气成分分析时，通常需要采用收集法。通过查阅文献，常见气体收集方法有冷凝收集法、扩散泵收集法等。冷凝收集法，常见步骤是将收集容器内部抽至高真空，使用液氮充分冷冻，之后接入真空设备。由于收集容器内是低温、低压，真空设备内的气体会进入收集容器，从而实现气体收集。该方法缺点是无法完全冷冻氮气、氧气等气体，在真空设备内可能存在残余气体，较难实现放出气体的完全收集。使用扩散泵收集法，步骤是在扩散泵后端接入收集容器及前级泵，利用扩散泵的抽空功能将放出气体抽至收集容器内。该方法缺点是扩散泵产生油蒸气，造成污染，气体成分分析不准确。

因此使用以上方法进行收集时，都存在一定的弊端。

发明内容

本发明为解决现有技术存在的问题而提出，其目的是提供一种真空设备放气成分收集装置。

本发明的技术方案是：一种真空设备放气成分收集装置，包括真空设备，所述真空设备与分子泵连通，所述分子泵与收集容器连通，所述收集容器置于液氮瓶中，所述真空设备、分子泵、收集容器还与抽真空用的真空泵连通。

所述真空泵的抽气口处设置有液氮冷阱。

所述真空泵、液氮冷阱之间设置有Ⅲ号阀门。

所述收集容器上设置有Ⅵ号阀门。

所述Ⅵ号阀门与分子泵之间设置有Ⅶ号阀门、真空计。

所述Ⅵ号阀门与液氮冷阱之间设置有Ⅳ号阀门、Ⅴ号阀门。

所述分子泵、收集容器串联的管路上并联有旁通支管路。

所述旁通支管路中设置有Ⅰ号阀门。

所述真空设备与分子泵之间设置有Ⅱ号阀门。

所述旁通支管路一端设置在真空设备、Ⅱ号阀门之间，旁通支管路另一端设置在Ⅳ号阀门、Ⅴ号阀门之间。

本发明适用于一般真空设备及内部结构复杂，存在转动、平动，内部气体分布不均的真空设备。

本发明使用分子泵进行收集，较扩散泵缩短了真空设备的抽气时间，获得无油污染的清洁真空环境，避免了油蒸气的污染。

本发明采用液氮冷阱阻止真空泵内的油蒸气扩散至收集容器内。减少收集装置本身影响。

本发明收集容器除气后放气量小于10^-6Pa•m³/s, 减少收集装置本身影响。

本发明使用液氮瓶冷冻收集容器，使收集容器内保持低温、低压环境，达到加速气体收集及保持分子泵额定转速运转的目的。

本发明中收集容器采用螺栓法兰结构，可以进行拆卸清洗。

附图说明