[发明专利]一种真空设备放气成分收集方法

权利要求书

1.一种真空设备放气成分收集方法，其特征在于：包括以下步骤：

（ⅰ）连通设备

（ⅱ）确认阀门状态

确认设备中的阀门均处于关闭状态；

（ⅲ）启动真空泵

充分冷冻液氮冷阱后，启动真空泵，依次打开Ⅲ号阀门、Ⅳ号阀门、Ⅴ号阀门、Ⅵ号阀门、Ⅶ号阀门；

（ⅳ）启动分子泵

当真空计压力降至100Pa以下，启动分子泵；

（ⅴ）对真空设备进行抽空

真空计压力降至1Pa以下，使用液氮瓶冷冻收集容器，关闭Ⅱ号阀门、Ⅵ号阀门，开启Ⅰ号阀门，对真空设备进行抽空；

（ⅵ）进行气体收集

当真空设备内压力降至1Pa以下，关闭Ⅰ号阀门、Ⅴ号阀门，开启Ⅱ号阀门，同时将真空设备上所有抽空管线封闭，开始进行气体收集；

（ⅶ）结束收集

收集指定时间t后，封闭真空设备放气成分收集装置上所有阀门，结束收集；

（ⅷ）停止分子泵、真空泵

（ⅸ）更换新的收集容器。

2.根据权利要求1所述的一种真空设备放气成分收集方法，其特征在于：步骤（ⅰ）中连通设备包括真空设备，所述真空设备与分子泵连通，所述分子泵与收集容器连通，所述收集容器置于液氮瓶中，所述真空设备、分子泵、收集容器还与抽真空用的真空泵连通。

3.根据权利要求2所述的一种真空设备放气成分收集方法，其特征在于：所述真空泵的抽气口处设置有液氮冷阱，所述真空泵、液氮冷阱之间设置有Ⅲ号阀门。

4.根据权利要求3所述的一种真空设备放气成分收集方法，其特征在于：所述收集容器上设置有Ⅵ号阀门，所述Ⅵ号阀门与分子泵之间设置有Ⅶ号阀门、真空计，所述Ⅵ号阀门与液氮冷阱之间设置有Ⅳ号阀门、Ⅴ号阀门。

5.根据权利要求4所述的一种真空设备放气成分收集方法，其特征在于：所述分子泵、收集容器串联的管路上并联有旁通支管路。

6.根据权利要求5所述的一种真空设备放气成分收集方法，其特征在于：所述旁通支管路中设置有Ⅰ号阀门。

7.根据权利要求6所述的一种真空设备放气成分收集方法，其特征在于：所述真空设备与分子泵之间设置有Ⅱ号阀门。

8.根据权利要求7所述的一种真空设备放气成分收集方法，其特征在于：所述旁通支管路一端设置在真空设备、Ⅱ号阀门之间，旁通支管路另一端设置在Ⅳ号阀门、Ⅴ号阀门之间。

9.根据权利要求8所述的一种真空设备放气成分收集方法，其特征在于：步骤（ⅱ）中的阀门包括Ⅰ号阀门、Ⅱ号阀门、Ⅲ号阀门、Ⅳ号阀门、Ⅴ号阀门、Ⅵ号阀门、Ⅶ号阀门。

10.根据权利要求9所述的一种真空设备放气成分收集方法，其特征在于：步骤（ⅸ）中更换收集容器包括以下内容：保持Ⅴ号阀门、Ⅵ号阀门、Ⅶ号阀门封闭，拆下收集容器，同时更换新的收集容器。