[发明专利]涂布设备及涂布方法

权利要求书

1.一种涂布设备，其特征在于，包括至少一套涂布组件，每套所述涂布组件包括：

用于盛放涂布液体的液体腔室；

一端与所述液体腔室连通的混合管，所述混合管的垂直于所述涂布液体流动方向的截面面积小于所述液体腔室的垂直于所述涂布液体流动方向的截面面积；

与所述混合管的侧壁连通的调节管路，配置为向所述混合管内通入调节流体，以调节所述涂布液体的浓度；

与所述混合管的另一端连通的作业室，配置为在进行涂布作业时位于待涂布基板的上方，所述作业室的与所述待涂布基板相对的一侧设置有用于泄出所述涂布液体的开口；

每套所述涂布组件还包括设置于所述混合管与所述作业室之间的分歧管和第一混合室；

所述分歧管包括入口端和至少两个出口端，所述分歧管的入口端与所述混合管连通，所述分歧管的至少两个出口端分别与所述第一混合室连通。

2.根据权利要求1所述的涂布设备，其特征在于，所述分歧管的出口端的个数为3～6个，所述分歧管的至少两个出口端等间隔布置。

3.根据权利要求1所述的涂布设备，其特征在于，每套所述涂布组件还包括设置于所述第一混合室与所述作业室之间的狭缝通道和第二混合室；

所述狭缝通道的入口端与所述第一混合室连通，所述狭缝通道的入口端的狭缝宽度小于所述第一混合室的宽度；其中，所述第一混合室的宽度为所述第一混合室的与所述狭缝通道的狭缝宽度延伸方向相平行的方向上的尺寸；

所述狭缝通道的出口端与所述第二混合室的入口端连通，所述狭缝通道的出口端的狭缝宽度小于所述第二混合室的宽度；其中，所述第二混合室的宽度为所述第二混合室的与所述狭缝通道的狭缝宽度延伸方向相平行的方向上的尺寸。

4.根据权利要求1所述的涂布设备，其特征在于，每套所述涂布组件还包括：

设置于所述第一混合室上的浓度检测部件，配置为检测所述第一混合室内的涂布液体的浓度；

与所述浓度检测部件相连的控制电路，配置为获取所述浓度检测部件的检测结果，并根据所述检测结果对所述液体腔室中的涂布液体与所述调节管路中的调节流体的流量比例进行调节。

5.根据权利要求1～4任一项所述的涂布设备，其特征在于，所述开口的与涂布方向相垂直的方向上的尺寸与所述待涂布基板的与涂布方向相垂直的方向上的尺寸相等。

6.根据权利要求1～4任一项所述的涂布设备，其特征在于，所述涂布设备包括至少两套涂布组件，所述至少两套涂布组件的作业室相互平行设置。

7.一种涂布方法，其特征在于，包括：

将待涂布基板放置于如权利要求1～6任一项所述的涂布设备的至少一套涂布组件的作业室的下方，并使所述作业室的带有开口的一侧与所述待涂布基板相对；

通过所述至少一套涂布组件的调节管路，向相应的涂布组件的混合管内通入调节流体以调节所述涂布液体的浓度，使所述涂布液体的浓度处于目标浓度范围之内；

使所述作业室与所述待涂布基板沿涂布方向发生相对移动，以使涂布液体通过相应的涂布组件的开口泄出并涂布于所述待涂布基板上。

8.根据权利要求7所述的涂布方法，其特征在于，涂布时使所述作业室的带有开口的一侧与所述待涂布基板之间保持目标距离。

9.根据权利要求8所述的涂布方法，其特征在于，所述目标距离的取值范围为1mm～5mm。

10.根据权利要求7所述的涂布方法，其特征在于，所述涂布设备的至少一套涂布组件包括浓度检测部件和控制电路；

所述涂布方法还包括：

所述浓度检测部件检测第一混合室内的涂布液体的浓度，得到检测结果；

所述控制电路根据所述检测结果，对所述液体腔室中的涂布液体与所述调节管路中的调节流体的流量比例进行调节，以使所述第一混合室内的涂布液体的浓度处于目标浓度范围之内。