[发明专利]一种OLED显示基板及其制备方法

权利要求书

1.一种OLED显示基板，其特征在于，包括衬底、设置于所述衬底上显示区的多个OLED器件、以及设置于多个所述OLED器件远离所述衬底一侧的薄膜封装层；

所述薄膜封装层包括第一无机薄膜封装层和位于所述第一无机薄膜封装层远离所述衬底一侧表面的第二有机薄膜封装层；

所述第一无机薄膜封装层包括第一子无机封装层和第二子无机封装层；所述第一子无机封装层覆盖所述显示区，所述第二子无机封装层位于所述显示区一侧的周边区域中，该周边区域包括IC绑定区，且所述第二子无机封装层与所述第一子无机封装层在所述衬底上的正投影无间隙；

所述第二子无机封装层靠近所述显示区一侧的边界与所述显示区的边界重合；

所述第一子无机封装层的材料中的氧含量大于所述第二子无机封装层的材料中的氧含量。

2.根据权利要求1所述的OLED显示基板，其特征在于，沿所述OLED显示基板的厚度方向，所述第一子无机封装层和所述第二子无机封装层的正投影存在重叠区域。

3.根据权利要求1所述的OLED显示基板，其特征在于，所述第一子无机封装层的材料包括氧化硅或氮氧化硅中的至少一种；

所述第二子无机封装层的材料包括氮化硅或氮氧化硅中的至少一种。

4.根据权利要求1-3任一项所述的OLED显示基板，其特征在于，所述薄膜封装层还包括第三无机薄膜封装层，所述第三无机薄膜封装层设置于所述第二有机薄膜封装层远离所述衬底的表面；

所述第三无机薄膜封装层的材料中的氧含量小于所述第一子无机封装层的材料中的氧含量。

5.根据权利要求4所述的OLED显示基板，其特征在于，所述第三无机薄膜封装层、所述第二子无机封装层以及位于所述第二子无机封装层靠近所述衬底一侧且与其接触的无机层的材料相同。

6.根据权利要求5所述的OLED显示基板，其特征在于，还包括用于驱动所述OLED器件的驱动电路，所述驱动电路包括多个薄膜晶体管；

所述薄膜晶体管包括依次设置于所述衬底上的有源层、栅绝缘层、栅极、层间绝缘层和源极、漏极；

其中，所述无机层为所述层间绝缘层。

7.一种OLED显示装置，其特征在于，包括权利要求1-6任一项所述的OLED显示基板。

8.一种OLED显示基板的制备方法，其特征在于，包括：

在衬底上显示区形成多个OLED器件；

在多个所述OLED器件远离所述衬底的一侧形成薄膜封装层；所述薄膜封装层包括第一无机薄膜封装层和位于所述第一无机薄膜封装层远离所述衬底一侧表面的第二有机薄膜封装层；

形成所述第一无机薄膜封装层，包括：

利用掩模板组件中的第一掩模板，进行沉积工艺，形成覆盖所述显示区的第一子无机封装层；

在形成所述第一子无机封装层后，利用所述掩模板组件中的第二掩模板，进行沉积工艺，形成第二子无机封装层；所述第二子无机封装层位于所述显示区一侧的周边区域中，该周边区域包括IC绑定区；

所述第一掩模板包括至少一个第一开口区，所述第一开口区至少对应OLED显示基板的显示区；

所述第二掩模板包括至少一个第二开口区，所述第二开口区对应所述OLED显示基板的所述显示区一侧的周边区域，该周边区域包括IC绑定区；

所述第二开口区与所述第一开口区一一对应，且一一对应的所述第二开口区和所述第一开口区用于形成所述OLED显示基板中的无机薄膜封装层；

其中，所述第二子无机封装层与所述第一子无机封装层在所述衬底上的正投影无间隙；所述第二子无机封装层靠近所述显示区一侧的边界与所述显示区的边界重合；所述第一子无机封装层的材料中的氧含量大于所述第二子无机封装层的材料中的氧含量；

形成第二有机薄膜封装层，包括：

利用喷墨打印工艺，在所述第一无机薄膜封装层表面形成所述第二有机薄膜封装层。