[发明专利]一种模块化设计的自供紫外光源的绿色节能抛光头装置

权利要求书

1.一种模块化设计的自供紫外光源的绿色节能抛光头装置，其特征在于，包括光源电路、防护罩(6)、中间圆盘(5)、密封盖(4)、环形石英玻璃板(7)和O型密封垫圈(11)，所述光源电路包括环形电路板(10)、锂电池组和红外遥控开关，所述环形电路板(10)设置在中间圆盘(5)底部边缘的环形阶梯槽(505)的窄槽中并通过环形石英玻璃板(7)密封，所述锂电池组和红外遥控开关设置在中间圆盘(5)中的矩形空腔(504)内，所述防护罩(6)套装在中间圆盘(5)的外缘并将中间圆盘(5)罩住。

2.如权利要求1所述的模块化设计的自供紫外光源的绿色节能抛光头装置，其特征在于，所述环形电路板(10)上均匀地分布着多颗朝向环形石英玻璃板(7)的发光二极管，多颗发光二极管采用并联结构，所述锂电池组由至少两节锂电池串联形成，环形电路板(10)的导线依次穿过中间圆盘(5)上的贯穿导线孔(506)和密封盖(4)的导线孔与矩形空腔(504)内的红外遥控开关和锂电池组连接。

3.如权利要求1所述的模块化设计的自供紫外光源的绿色节能抛光头装置，其特征在于，所述防护罩(6)为顶底开口的圆管形结构且顶部开口的内径小于底部开口的内径，防护罩(6)的底端面低于中间圆盘(5)的底端面，降低了光源电路所发出的紫外光的散射及泄漏。

4.如权利要求1所述的模块化设计的自供紫外光源的绿色节能抛光头装置，其特征在于，所述中间圆盘(5)的顶部边缘设置有向上凸起的边缘环脊(501)，边缘环脊(501)使中间圆盘(5)形成开口向上的圆形空腔(502)，圆形空腔(502)在中间圆盘(5)的顶部形成凹平台，凹平台的边缘向内设置有环形凹槽(503)，凹平台的中部向内设置有矩形空腔(504)，中间圆盘(5)底部的边缘向内设置有环形阶梯槽(505)，环形阶梯槽(505)底部与边缘环脊(501)之间设有贯穿导线孔(506)。

5.如权利要求4所述的模块化设计的自供紫外光源的绿色节能抛光头装置，其特征在于，所述密封盖(4)设置有螺纹孔和导线孔，所述中间圆盘(5)的凹平台上设置有螺纹孔，螺钉通过螺纹孔孔将密封盖(4)固定在凹平台顶部。

6.如权利要求4所述的模块化设计的自供紫外光源的绿色节能抛光头装置，其特征在于，所述环形石英玻璃板(7)设置在环形阶梯槽(505)的宽槽中，通过玻璃胶粘固并密封，以防止在抛光过程中抛光液的溅入而受到损坏。

7.如权利要求4所述的模块化设计的自供紫外光源的绿色节能抛光头装置，其特征在于，所属圆形空腔(502)边缘的环形凹槽(503)内设置有O型密封垫圈，密封盖(4)通过螺钉将O型密封垫圈压紧来完成对矩形空腔(504)的密封，以防止在抛光过程中抛光液的溅入而损坏电路器件。

8.一种模块化的抛光头装置，其特征在于，包括权利要求1所述的自供紫外光源模块、装卡模块和晶圆保持模块；所述装卡模块设置在自供紫外光源模块的中间圆盘(5)的顶端；所述晶圆保持模块设置在自供光源模块的中间圆盘(5)的底端；所述装卡模块用于将抛光头装置与抛光机的动力机构连接，所述晶圆保持模块用于将晶圆夹持在抛光头装置的底端面。

9.如权利要求8所述的模块化的抛光头装置，其特征在于，所述装卡模块包括上圆盘(1)、装卡圆柱(2)和弹簧钢片(3)；装卡圆柱(2)水平插装在上圆盘(1)的转轴上，弹簧钢片(3)有6个，每个弹簧钢片(3)外侧端均通过螺钉间隔均匀的固定在中间圆盘(5)的边缘环脊(510)上，内侧端均通过螺钉与上圆盘(1)底端面连接且相互独立。

10.如权利要求8所述的模块化的抛光头装置，其特征在于，所述晶圆保持模块包括底圆盘(8)和保持环(9)；螺钉穿过密封盖(4)和中间圆盘(5)与底圆盘(8)连接，从而将底圆盘(8)固定在中间圆盘(5)的底端面，保持环(9)通过螺钉安装在底圆盘(8)的底部。