[发明专利]一种显示基板及其制作方法、显示装置有效
申请号: | 201910237989.0 | 申请日: | 2019-03-27 |
公开(公告)号: | CN109904210B | 公开(公告)日: | 2021-08-24 |
发明(设计)人: | 宋威;赵策;丁远奎;金憘槻;王明;刘宁;胡迎宾 | 申请(专利权)人: | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 许静;胡影 |
地址: | 230012 *** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 显示 及其 制作方法 显示装置 | ||
1.一种显示基板,其特征在于,包括:
衬底基板,
设置在所述衬底基板上的薄膜晶体管阵列层,所述薄膜晶体管阵列层包括多个薄膜晶体管,每个所述薄膜晶体管中的输出电极均包括相连接的第一部分和第二部分,在垂直于所述衬底基板的方向上,所述第二部分的高度高于所述第一部分的高度;
所述薄膜晶体管阵列层在背向所述衬底基板的一侧限定出用于设置发光单元的多个凹槽,每个所述凹槽与至少一个薄膜晶体管对应,所述至少一个薄膜晶体管的第二部分作为对应的凹槽的槽壁,所述至少一个薄膜晶体管中的目标薄膜晶体管的第一部分作为对应的凹槽的槽底;
所述显示基板还包括:
设置在所述薄膜晶体管阵列层背向所述衬底基板的一侧的绝缘膜层,所述绝缘膜层包括与所述多个凹槽一一对应的多个开口,所述开口暴露出对应的所述凹槽的槽底;
一一对应设置在所述凹槽内的多个发光单元,所述发光单元与对应的所述凹槽的槽底接触,与该凹槽对应的目标薄膜晶体管用于将驱动信号经该槽底输出至对应的发光单元,以驱动所述发光单元发光;
当所述凹槽与一个薄膜晶体管对应时,该薄膜晶体管为目标薄膜晶体管,所述薄膜晶体管具体包括:
同层设置在所述衬底基板上的第一绝缘图形、输入电极和所述输出电极,所述输入电极在所述衬底基板上的正投影包围所述第一绝缘图形在所述衬底基板上的正投影,所述第一绝缘图形在所述衬底基板上的正投影包围所述输出电极在所述衬底基板上的正投影,所述输出电极中的第二部分在所述衬底基板上的正投影包围所述输出电极中的第一部分在所述衬底基板上的正投影;
设置在所述输入电极背向所述衬底基板的一侧的有源层,所述有源层分别与所述输入电极,所述第一绝缘图形和所述输出电极的第二部分接触,所述有源层在所述衬底基板上的正投影,包围所述输出电极中的第一部分在所述衬底基板上的正投影;
设置在所述有源层背向所述衬底基板的一侧的第二绝缘图形,所述第二绝缘图形在所述衬底基板上的正投影,包围所述输出电极中的第一部分在所述衬底基板上的正投影;
设置在所述第二绝缘图形背向所述衬底基板的一侧的栅极,所述栅极在所述衬底基板上的正投影位于所述第二绝缘图形在所述衬底基板上的正投影的内部,所述栅极在所述衬底基板上的正投影,包围所述输出电极中的第一部分在所述衬底基板上的正投影;
所述输出电极的第一部分作为对应的凹槽的槽底,所述输出电极的第二部分,所述有源层,所述第二绝缘图形和所述栅极共同作为对应的凹槽的槽壁。
2.根据权利要求1所述的显示基板,其特征在于,在垂直于所述衬底基板的方向上,所述输入电极的高度与所述输出电极中的第二部分的高度相同;和/或,
在垂直于所述衬底基板的方向上,所述第一绝缘图形的高度与所述输出电极中的第二部分的高度相同。
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H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
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H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的