[发明专利]基板支撑台

说明书

本发明提供可容易且价格低廉地维修的基板支撑台。由基台(10a)和支撑板(10b)构成，支撑板(10b)为具有从表面突出并用于支撑基板(PO)的多个凸部(11)的板状的部件，且该支撑板(10b)由显示面板所使用的材料、例如玻璃基板(GS)及绝缘膜所使用的有机材料(10b1)构成，并可更换地安装在基台(10a)上。

技术领域

本发明涉及设置于显示面板的制造所使用的各种装置并用于支撑构成该显示面板的基板的基板支撑台。

背景技术

在制造液晶面板、有机EL面板等显示面板的工序中，对构成该显示面板的基板进行各种处理。在进行该各种处理的装置中，往往设置有用于支撑基板的基板支撑台。例如，下述专利文献1所记载的基板支撑台在避免异物向基板的背面的附着的目的下，构成为在板状部件的表面设置有多个凸部，由上述多个凸部的前端支撑基板。此外，下述专利文献1所记载的基板支撑台通过在支撑基板的面粘贴多个树脂突起物而形成有多个凸部。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012-28622号公报

发明内容

本发明所要解决的技术问题

如上述专利文献1所记载的基板支撑台那样，在为由多个凸部支撑基板那样的结构的情况下，上述多个凸部由于与基板的接触引起的磨损、等离子体/化学液体等而老化，例如，存在产生基板的粘附、剥离带电、曝光不良、向基板背面的划伤等的担忧。因此，在多个凸部老化的情况下，需要维修基板支撑台。上述专利文献1所记载的基板支撑台通过剥落多个树脂突起物并粘贴新的多个树脂突起物，由此能够维修多个凸部。然而，上述专利文献1所记载的基板支撑台必须制造多个树脂突起物来进行准备，另外，需要粘贴这些树脂突起物这样的格外的作业。

本发明是鉴于这样的实际情况所做出的，课题在于提供在多个凸部老化的情况下等可容易且价格低廉地维修的基板支撑台。

为了解决上述课题，本发明的基板支撑台用于支撑构成显示面板的基板，其特征在于，构成为包括：

基台；和

支撑板，其为具有从表面突出并用于支撑上述基板的多个凸部的板状的部件，且该支撑板由上述显示面板所使用的材料构成，并可更换地安装在上述基台上。

根据为这样的结构的基板支撑台，由于支撑板由显示面板所使用的材料形成，因此不需要为了制作该支撑板而使用新的材料，从而能够抑制维修所花费的成本。另外，仅通过更换由该显示面板所使用的材料形成的支撑板，便完成基板支撑台的维修，因此能够缩短维修所需的时间，换言之，能够缩短将显示面板的制造停止的时间。另外，在该结构的基板支撑台中，使用显示面板的制造所使用的各种装置、方法，例如，通过利用光刻法在玻璃基板上对构造物进行图案化的方法等，能够容易地形成支撑板的多个凸部。

此外，在该结构的基板支撑台中，用于支撑板的材料没有特别地限定，希望多个凸部由不划伤基板的背面那样的材料、例如树脂系的材料等比基板柔软的材料形成。另外，关于支撑板所使用的材料，可以考虑各种观点来选定能够减轻多个凸部的劣化的材料、不易因多个凸部的磨损而产生尘埃等的材料等。进一步，支撑板可以由单独的材料形成，也可以由两种以上的材料形成。

发明效果

根据本发明，能够在多个凸部老化的情况下等，提供可容易且价格低廉地维修的基板支撑台。

附图说明

图1是示意性地表示具备本发明的实施方式的基板支撑台的基板处理装置的图。

图2是构成为包含本发明的实施方式的基板支撑台所支撑的基板的显示面板的俯视图。

图3是表示图2所示的显示面板的像素阵列的俯视图。