[发明专利]弹性绑定靶材的装置及方法

说明书

本发明涉及一种弹性绑定靶材的装置，其包括一龙门架以及一间隙片夹具，所述龙门架包括平行的第一支脚、第二支脚以及连接第一支脚、第二支脚的一水平杆，所述第一支脚、第二支脚设置有槽道，所述间隙片夹具包括夹具本体以及一调节部，所述调节部包括自上向下延伸的一把手、一调节杆、一抓取部，所述夹具本体与水平杆平行，且夹具本体的两端套设于槽道内，所述抓取部固定于夹具本体上，所述调节杆上下贯穿水平杆，所述把手的上下移动能够带动夹具本体沿着槽道上下移动。本发明同时提出一种弹性绑定靶材的方法。本发明弹性绑定靶材的装置及方法可以实现靶材之间的间隙精准控制和靶材之间的间隙简便清胶。

技术领域

本发明涉及靶材的制备领域，尤其涉及一种弹性绑定靶材的装置及方法。

背景技术

高质量的靶材是薄膜应用的基础，与靶材相伴而生的靶材绑定也影响着薄膜的质量。靶材绑定，是一种靶材深加工技术，即采用浸润性和延展性良好的材料使靶材与背板粘结在一起，且所形成的粘结层具有一定的导电性、导热性和粘合强度。

背板常用的材料为铜（Cu）和钼（Mo），较大面积背板内部通常设有特殊的水道结构，利于通水散热。而绑定技术解决了部分靶材因脆性较大，导热性较差，直接溅射时易开裂，从而导致靶材报废。

目前平面靶材的绑定大多使用铟绑定，铟属于稀散金属，价格高昂，而且铟绑定并不适用于所有靶材，例如，对铟不浸润和易碎的脆性靶材，铟绑定并不适用，现在一般采用弹性绑定的方法来解决。

中国专利申请CN104928633A公开了一种靶材弹性绑定的方法，通过在靶材和背板的焊接面以及非磁性金属网的两面涂布一定量的掺杂银粉或活性炭颗粒的环氧树脂胶，依次叠放各层后于常温常压下固化而完成靶材的绑定，其通过控制非磁性金属网的目数和网线直径来实现消除或分割焊接层中存在的大气泡，提高了靶材的绑定率，避免了靶材在使用过程中因热聚集于焊接层的大气泡内而导致的脱靶隐患。

对于多块平面靶材需要连续绑定的情况，上述方法并不能完全适用，其原因在于：多块平面靶材连续绑定时常常面临着靶材之间的间隙小、胶固化后除胶困难的问题，上述方法并未针对这些情况进行设计。

因此，为了解决多块平面靶材需要连续绑定存在的上述技术问题，亟需一种新的弹性绑定靶材的装置及方法。

发明内容

本发明的目的在于提出一种解决多块平面靶材连续绑定时面临的靶材之间的间隙小、胶固化后除胶困难的弹性绑定靶材的装置及方法。

为实现前述目的，本发明采用如下技术方案：一种弹性绑定靶材的装置，其包括一龙门架以及一间隙片夹具，所述龙门架包括平行的第一支脚、第二支脚以及连接第一支脚、第二支脚的一水平杆，所述第一支脚、第二支脚设置有槽道，所述间隙片夹具包括夹具本体以及一调节部，所述调节部包括自上向下延伸的一把手、一调节杆、一抓取部，所述夹具本体与水平杆平行，且夹具本体的两端套设于槽道内，所述抓取部固定于夹具本体上，所述调节杆上下贯穿水平杆，所述把手的上下移动能够带动夹具本体沿着槽道上下移动。

同时提出一种弹性绑定靶材的方法，其采用上述的弹性绑定靶材的装置，该方法包括以下步骤：

S1、用异丙醇清洗靶材、背板的绑定面，再用无水乙醇清洗靶材、背板的绑定面；

S2、将靶材和背板置于龙门架下方，将间隙片夹持于夹具本体内，通过把手调节夹具本体的上下位置；

S3、将一种有机硅胶体均匀涂布在间隙片的两面，将间隙片涂布有机硅胶体的两面分别与相邻的两个靶材粘附，且间隙片与两个靶材的底面平齐；

S4、将上述相邻的两个靶材叠放在背板的焊接面上并定位，通过有机硅胶体将铜网绑定于靶材和背板之间；

S5、重复S3、S4，直至多片靶材相对固定；